[发明专利]部件测试装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于进行电子部件的测试的部件测试装置。

背景技术

通常，在半导体芯片等这样的电子部件的制造工序中，对上述 电子部件进行各种各样的测试。在上述测试中，通常使用被称作IC 处理机(IC handler)的部件测试装置。在这样的部件测试装置中设 置有多个输送装置，其中，这些输送装置用于将被测试的电子部件 输送到部件测试装置内部中的规定的各个位置(例如供给位置、测 试位置和排出位置)。这些输送装置或者将测试前的电子部件提供 给部件测试装置，或者将测试前的电子部件配置在部件测试装置内 的测试座(test socket)上，或者将测试完毕的电子部件从测试座上 取下，或者将测试后的电子部件从部件测试装置排出。如果详细叙 述，则是进行如下的动作：例如，通过作为输送装置的供给自动装 置(robot)将测试前的电子部件载置在梭(shuttle)上，该梭将测 试前的电子部件输送直至测试座的附近。在测试座附近的位置上， 作为输送装置的测定自动装置(输送臂)把持载置在梭上的试验前 的电子元部件，同时输送至测试座并配置在测试座上。此外，测定 自动装置在把持结束了测试的电子部件的同时，将该电子部件从测 试座装载在梭上。该梭将结束了测试的电子部件输送直至作为输送 装置的回收自动装置附近。然后，回收自动装置把持结束了测试的 电子部件，并将该电子部件分配给与测试结果相对应的回收托盘。

但是，在上述的部件测试装置中，一直以来就存在着在较短的 时间内进行较多的电子部件的测试的要求。于是，作为缩短部件测 试装置中的测试所需时间的方法，例如在日本特开2002-148307号 公报中公开了缩短对测试座更换电子部件的时间的方法。在上述公 报的方法中，部件测试装置、即IC处理机包括排列在一条直线上 的多个测试座、以及配置成分别跨越该测试座的多对输送臂。各输 送臂包括用于吸附电子部件的吸附机构、以及用于将电子部件压入 测试座的压入机构。各对输送臂、即第一输送臂以及第二输送臂独 立地驱动。通过尽量使第二输送臂接近第一输送臂并进行待机，从 而能够缩短向测试座更换电子部件所需的输送距离，其中，该第一 输送臂将电子部件压入测试座，该第二输送臂把持下一个被压入该 测试座的电子部件。因此，能够缩短部件测试装置中的测试所需的 总时间。

使用了测试座的、电子部件的测试所需的时间根据测试内容而 不同，且也存在以下情况：电子部件的输送时间、例如将测试完毕 的电子部件排出给梭所需的时间或通过梭把持测试前的电子部件 并输送直至测试座的附近所需要的时间比电子部件的测试时间长。 因此，在电子部件的输送时间比电子部件的测试时间长的情况下， 即使采用了上述公报的方法，也并不是一定会缩短测试所需的总时 间。也就是说，在第二输送臂输送电子部件的输送中，如果存在通 过第一输送臂配置在测试座上的电子部件的测试终止这样的情况， 则无法使上述第二输送臂接近上述第一输送臂且待机。此外，由于 这些输送臂在每次电子部件的测试时进行排出和供给，所以与该每 次的排出和供给相关的动作也成为了缩短整体的输送时间的限制。

发明内容

本发明的目的在于提供部件测试装置，其能够通过缩短向测试 座更换电子部件所需的时间，从而实现提高缩短电子部件的测试所 涉及的处理量(through-put)。

为了实现上述目的，提供了用于进行电子部件测试的部件测试 装置，该部件测试装置包括：部件供给装置，将上述电子部件提供 到供给位置；输送臂，用于把持上述电子部件，以便将上述电子部 件从上述供给位置输送到设置在测试位置上的测试座，并将测试完 毕的电子部件从上述测试座输送到排出位置；以及部件排出装置， 用于将上述电子部件从上述排出位置输出，其中，上述输送臂包括 多个定位单元，其中，上述定位单元分别把持上述电子部件且相互 独立地驱动，上述多个定位单元沿从上述供给位置向上述测试位置 的上述电子部件的输送方向邻接排列。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式所涉及的部件测试装置的立体 图；

图2是图1的部件测试装置的部件测试部的立体图；

图3是图1的部件测试装置的输送臂的立体图；

图4A是表示基于图1的部件测试装置的电子部件的输送状态 的俯视图；

图4B是图4A的正视图；