[发明专利]用于超级电容器电极的多孔碳薄膜材料的制备方法

权利要求书

1.用于超级电容器电极的多孔碳薄膜材料的制备方法，采用化学气相沉积法， 通过裂解源烃类气体的还原反应，在基底上沉积出多孔碳薄膜材料，其步骤为：

(1)首先在750～800℃沉积温度下在容器内的沉积位置处放入基片；

(2)用真空泵将容器中的空气抽出，使容器内达到高真空，即10^-7～10^-8Pa 的真空状态；

(3)向容器内通入惰性保护气体，用质量流量计控制惰性保护气体的流量 为70～80mL/s；

(4)向容器内通入还原气体，用质量流量计控制气体流量为70～80mL/s；

(5)然后向容器内通入烃类混合气体，用质量流量计控制气体流量，分别 使甲烷气体的流量为52mL/s、乙烯气体的流量为60mL/s、丙烷气体的流量为 70mL/s；或者甲烷气体的流量为55mL/s、乙烯气体的流量为65mL/s、丙烷气 体的流量为70mL/s；或者甲烷气体的流量为65mL/s、丙烯气体的流量为 55mL/s、乙烷的气体流量为75mL/s、丙烷气体的流量为70mL/s；或者甲烷气 体的流量为70mL/s、丙烯气体的流量为55mL/s、乙烷的气体流量为75mL/s、 丙烷气体的流量为65mL/s；

(6)将容器加热，加热到900～1000℃时进行保温，时间持续1～2小时， 混合烃类气体的还原反应使得基底上沉积出多孔碳，即得多孔碳薄膜材料。

2.根据权利要求1所述的用于超级电容器电极的多孔碳薄膜材料的制备方法， 其特征在于：所述的基片为不锈钢网，或者是不锈钢片，或者是镍网，或者是 镍片。

3.根据权利要求1所述的用于超级电容器电极的多孔碳薄膜材料的制备方法， 其特征在于：所述的真空泵为油封机械泵与复合分子泵组成的系统。

4.根据权利要求1所述的用于超级电容器电极的多孔碳薄膜材料的制备方法， 其特征在于：所述的容器为高纯石英管。

5.根据权利要求1所述的用于超级电容器电极的多孔碳薄膜材料的制备方法， 其特征在于：所述的惰性保护气体为氮气，或者是氩气。

6.一种用于超级电容器的成品电极的制备方法，其特征在于将沉积有如权利要 求1所述的多孔碳薄膜材料的基片作为集流体，铂丝作为导线，导线和集流体 采用点焊方式焊接，然后在油压压片机上将极片压实，得到成品电极。

7.一种超级电容器，其特征在于超级电容器的电极采用对称性结构装置，正负 极均为如权利要求6所述的成品电极，电极隔膜为聚丙烯微孔膜和聚乙烯醇膜 中的一种，电解液为2mol或6mol的氢氧化钾碱液。