[发明专利]用于校正粒子光学装置中的畸变的方法

权利要求书

1.一种用于校正粒子光学装置的畸变的方法，该粒子光学装置包括：

·粒子源(101)，用于生成粒子束，

·物平面，其上可放置将要成像的物体(111)，

·聚光系统(104)，用于利用粒子束照射物平面，

·投影系统(106)，用于通过将透过物体的粒子成像到像平面上来形成物平面的放大图像，该投影系统引起畸变，以及

·检测器(150)，用于检测该放大图像，

该方法包括：

·形成畸变被至少部分校正的图像，

其特征在于

·该检测器包括多极(152)，并且

·按照至少部分校正放大图像中的畸变的方式激励多极。

2.根据权利要求1所述的方法，其中在形成物体的放大图像之前通过以下步骤确定投影系统的畸变：

·生成图案，

·形成所述图案的放大图像，

·测量所引起的畸变，

以及激励多极以至少部分校正畸变。

3.根据权利要求2所述的方法，其中通过利用粒子束照射具有已知图案透明区域的光阑(200)来生成图案。

4.根据权利要求2所述的方法，其中通过以已知扫描模式扫描粒子束来生成图案。

5.根据权利要求2-4中任一项所述的方法，其中该投影系统在中间像平面(110)中形成物平面的至少一个中间图像，从物平面到中间像平面的放大率小于从物平面到像平面的放大率，并且在中间像平面处生成该图案。

6.根据权利要求2-5中任一项所述的方法，该方法还包括：

·确定该装置不同设定下的畸变，该不同设定包括投影系统的不同放大率和/或照射物体位置的粒子的不同能量，

·针对不同设定形成数据组，

此后针对使物体成像所使用的放大率和能量设置该投影系统，并且利用所述数据组激励多极以至少部分校正畸变。

7.根据权利要求6所述的方法，其中该数据组表示涉及校正投影系统的不同设定时的畸变所需的对多极的激励的信息。

8.根据权利要求6所述的方法，其中该数据组表示描述投影系统的不同设定时的畸变的系数。

9.根据权利要求6-8中任一项所述的方法，其中通过对该数据组进行插值或曲线拟合来确定对多极的激励。

10.根据权利要求2-9中任一项所述的方法，其中由一组参数描述畸变，并且将预定的相对多极激励组用于使每个参数为零，每个相对多极激励组用于使参数之一为零。