[实用新型]蚀刻设备

权利要求书

1.一种蚀刻设备，其特征在于，该设备包含：

一浸泡槽，其内面两侧分别设有一入料浮动轮及一出料浮动轮；

一送料导轮，用以承载一基板，使该基板可通过该入料浮动轮而进入该浸泡槽；

一喷洒统，其为该浸泡槽的外接系统，包含有一药液工作槽以及接受该药液工作槽供应药液的多个喷源，喷源是平均设置并相应于该浸泡槽上方，该药液工作槽与该浸泡槽之间以管路相连以补给或回收药液；

该喷洒统与该送料导轮受蚀刻设备中的一电控部所控制。

2.如权利要求1所述的蚀刻设备，其特征在于，所述浸泡槽的外侧设置两个分别相应于所述入料浮动轮及该出料浮动轮的出气装置。

3.如权利要求2所述的蚀刻设备，其特征在于，该出气装置为具有狭长缝隙，能释放出压缩空气的风刀。

4.如权利要求1或2所述的蚀刻设备，其特征在于，所述入料浮动轮及所述出料浮动轮是重迭于一平台上，且可相对于该平台纵向移动微小距离。