[实用新型]一种应用于等离子体的装置有效
| 申请号： | 200920061046.9 | 申请日： | 2009-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN201491393U | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 李志东;乔书晓;张锐 | 申请（专利权）人： | 广州兴森快捷电路科技有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00;H05K3/06;H05K3/26;H05H1/24;C23F1/12;C23F1/08 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 赵磊 |
| 地址： | 510663 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 等离子体 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种应用于等离子体的装置，其特征在于：它由内腔相互隔离的第一瓶柜和第二瓶柜组成，其中第一瓶柜顶部设有带控制阀的抽气管，且第一瓶柜与第二瓶柜柜体底部上分别设有固定件。
2.根据权利要求1所述的一种应用于等离子体的装置，其特征在于：所述固定件为中空圆筒形。
3.根据权利要求2所述的一种应用于等离子体的装置，其特征在于：所述固定部由固设在柜体底面上的固定部和铰接在固定部上的活动部组成，其中固定部和活动部的水平截面分别为半圆形。
4.根据权利要求1或2或3所述的一种应用于等离子体的装置，其特征在于：所述第一瓶柜的顶面与背面之间的夹角为60-70度。
5.根据权利要求4所述的一种应用于等离子体的装置，其特征在于：所述第一瓶柜和第二瓶柜分别设有柜门。
6.根据权利要求4所述的一种应用于等离子体的装置，其特征在于：所述第二瓶柜内设有平行的间隔挡杆。
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