[实用新型]用于清理开槽磨片机上沟槽的装置有效
| 申请号： | 200920071345.0 | 申请日： | 2009-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN201405264Y | 公开（公告）日： | 2010-02-17 |
| 发明（设计）人： | 栾兴伟;洪羿达;李强 | 申请（专利权）人： | 上海合晶硅材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/007 | 分类号： | B24B53/007;B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201617*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 清理 开槽 磨片机上 沟槽 装置 | ||
【权利要求书】：
1.用于清理开槽磨片机上沟槽的装置，其特征在于：该装置包括支架(2)，安装于支架(2)一端的手柄(1)以及卡持于支架(2)另一端的滚轮(4)。
2.如权利要求1所述的用于清理开槽磨片机上沟槽的装置，其特征在于：所述手柄(1)一端凹设有螺纹孔(11)，所述支架(2)一端设有与所述螺纹孔(11)配合的外螺纹(23)。
3.如权利要求1或2所述的用于清理开槽磨片机上沟槽的装置，其特征在于：所述支架(2)另一端设有收容滚轮(4)的通槽(22)。
4.如权利要求3所述的用于清理开槽磨片机上沟槽的装置，其特征在于：所述滚轮(4)中部设有通孔(411)，所述支架(2)另一端设有与通槽(22)垂直的开孔(21)，所述开孔(21)与滚轮(4)中部的通孔(411)用螺栓(3)连接。
5.如权利要求4所述的用于清理开槽磨片机上沟槽的装置，其特征在于：所述滚轮(4)包括自中心向边缘厚度顺次减小的中间部分(41)、过渡部分(42)以及边缘部分(43)。
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