[发明专利]真空输送装置

权利要求书

1.一种真空输送装置，其特征在于，

其包括：

容器，能够对内部进行排气而形成真空状态；

第一运动传递部件及第二运动传递部件，它们并列位于该容器的内部，能够用旋转运动传递旋转驱动力，且能够在第一运动传递部件及第二运动传递部件的轴线方向上进行直线运动；

基座，其被上述第一运动传递部件及第二运动传递部件支承，并能够沿上述轴线方向进行直线运行；

第一臂，其具有能够旋转地安装于该基座上的第一圆筒部、以及一端安装于该第一圆筒部上的第一臂部；

第二臂，其具有能够旋转地安装于上述第一臂部的另一端的第二圆筒部、以及一端安装于该第二圆筒部上的第二臂部；

固定于上述第一圆筒部的外壁的皮带轮；

第一旋转轴，其位于上述第一圆筒部的内部，具有两个皮带轮；

连接于上述第二臂的皮带轮；

架设于上述第一运动传递部件、和固定于上述第一圆筒部的外壁的皮带轮之间的皮带；

架设于上述第二运动传递部件和上述第一旋转轴所具有的皮带轮之间的皮带、以及架设于上述第一旋转轴所具有的另一皮带轮和连接于上述第二臂的皮带轮之间的皮带。

2.根据权利要求1所述的真空输送装置，其特征在于，上述运动传递部件为滚珠花键。

3.根据权利要求1所述的真空输送装置，其特征在于，

上述基座还被垂直运动部件支承。

4.根据权利要求2所述的真空输送装置，其特征在于， 

上述基座还被垂直运动部件支承。

5.根据权利要求3所述的真空输送装置，其特征在于，

上述垂直运动部件为滚珠丝杠。

6.根据权利要求4所述的真空输送装置，其特征在于，

上述垂直运动部件为滚珠丝杠。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的真空输送装置，其特征在于，

还包括：

第二旋转轴，其位于上述第二圆筒部的内部，其一端固定在皮带轮上，该皮带轮是连接于上述第二臂的皮带轮；

固定于该第二旋转轴的另一端的皮带轮；

机械手，其借助第三旋转轴能够旋转地安装于上述第二臂部的另一端；

固定于上述第三旋转轴的皮带轮；

皮带，其架设于固定于上述第二旋转轴的另一端的皮带轮、和固定于上述第三旋转轴的皮带轮之间。

8.一种真空处理装置，其特征在于，具有权利要求1～7中任一项所述的真空输送装置。

9.一种显示装置的制造方法，其特征在于，具有使用权利要求1～7中任一项所述的真空输送装置的工序。

10.根据权利要求9所述的显示装置的制造方法，其特征在于，上述显示装置为有机EL显示装置。

11.根据权利要求9所述的显示器装置的制造方法，其特征在于，上述显示装置为电子发射元件显示装置。