[发明专利]用于软光刻的硅酮橡胶材料

权利要求书

1.一种硅酮橡胶类材料，包括被至少一种线性聚硅氧烷交联的至少一种Q型支链和/或T型支链聚硅氧烷，其中所述材料具有在从7MPa到80MPa的范围内的杨氏模量。

2.一种用于制造杨氏模量在从7MPa到80MPa的范围内的硅酮橡胶类材料的方法，所述方法包括：

-提供包括至少一种功能T型支链和/或功能Q型支链聚硅氧烷前驱体的成分，

-将至少一种功能线性聚硅氧烷添加到所述成分，

-在低于100摄氏度的温度培养所述成分。

3.根据权利要求4的方法，进一步包括在所述硅酮橡胶类材料中设置图案的步骤。

4.根据权利要求3的方法，其中在所述硅酮橡胶类材料中设置图案的步骤是通过在主模图案上在所述步骤(c)中培养所述成分来实现的，从而实现包括特征(101；202)的图案的印模层(100；201)。

5.根据权利要求2-4中任一项的方法，其中所述成分在低于50℃的温度培养。

6.根据权利要求2-5中任一项的方法，其中所述至少一种功能T型支链聚硅氧烷前驱体选自由下述组成的群组：氢化物功能T型支链聚硅氧烷前驱体、乙烯基功能T型支链聚硅氧烷前驱体和它们的混合物，和/或其中所述至少一种功能Q型支链聚硅氧烷前驱体选自由下述组成的群组：氢化物功能Q型支链聚硅氧烷前驱体、乙烯基功能Q型支链聚硅氧烷前驱体和它们的混合物

7.根据权利要求2-6中任一项的方法，其中所述至少一种功能线性聚硅氧烷选自由下述组成的群组：氢化物功能线性聚硅氧烷、乙烯基功能线性聚硅氧烷或它们的混合物。

8.根据权利要求7的方法，其中所述至少一种乙烯基功能线性聚硅氧烷是至少5％的乙烯基功能。

9.根据权利要求7或8的方法，其中所述至少一种氢化物功能线性聚硅氧烷是至少30％的氢化物功能。

10.根据权利要求7-9中任一项的方法，其中所述氢化物功能线性聚硅氧烷和乙烯基功能线性聚硅氧烷是按在2∶10到8∶10的范围内的比率被使用。

11.一种通过权利要求2-10中任一项的方法可获得的硅酮橡胶类材料。

12.一种包括印模层(100；201)的印刷设备，所述印模层包括根据权利要求1或11的硅酮橡胶类材料。

13.根据权利要求12的印刷设备，其中所述印模层包括特征(101；202)的图案。

14.根据权利要求1或11的硅酮橡胶类材料作为印模层用于印刷工艺的用途。

15.权利要求14的用途，其中所述印刷工艺是压印光刻工艺。