[发明专利]放电加工装置、放电加工方法及半导体基板的制造方法

权利要求书

1.一种放电加工装置，其特征在于，具备：

N个电极，在与工件之间各自地产生放电，其中N是2以上的整数；

交流电源或脉冲电源，在所述工件和所述N个电极之间共同施加交流电压或电压脉冲；以及

N个电容器，一端分别各自地与所述电极连接，并且另一端共同连接到所述交流电源或脉冲电源。

2.根据权利要求1所述的放电加工装置，其特征在于，还具备：

N个二极管，阳极分别各自地与所述电极连接，并且阴极共同连接到所述交流电源或脉冲电源的工件侧的端子。

3.根据权利要求2所述的放电加工装置，其特征在于，还具备：

N个电阻器，分别与所述二极管串联连接。

4.根据权利要求1或2所述的放电加工装置，其特征在于，还具备：

电阻器，与所述交流电源或脉冲电源串联连接；

开关元件，与所述电阻器并联连接；以及

控制电路，在对所述工件施加正电压的期间使所述开关元件导通，在对所述工件施加负电压的期间使所述开关元件截止。

5.根据权利要求1或2所述的放电加工装置，其特征在于，还具备：

电力回收电路，与所述交流电源或脉冲电源串联连接，在对所述工件施加负电压的期间回收电力并进行再利用。

6.根据权利要求1所述的放电加工装置，其特征在于，还具备：

N个电阻器，分别与所述N个电容器串联连接。

7.根据权利要求1所述的放电加工装置，其特征在于，还具备：

N个电感器，分别与所述N个电容器串联连接。

8.根据权利要求1所述的放电加工装置，其特征在于，还具备：

电感器，与所述交流电源或者脉冲电源串联连接。

9.根据权利要求1到8中的任一项所述的放电加工装置，其特征在于，

所述电极是相互并联配置的线电极。

10.根据权利要求9所述的放电加工装置，其特征在于，

所述线电极是一根电线的一部分。

11.根据权利要求10所述的放电加工装置，其特征在于，

所述电线是在所述电极间以环状围绕的。

12.根据权利要求11所述的放电加工装置，其特征在于，

在所述环的内侧插入了磁性材料。

13.一种放电加工方法，其特征在于，具备：

在与并联配置的N个电极相对置的位置设置工作物，在所述电极和所述工作物之间形成放电电极的工序；和

经由分别与所述N个电极串联连接的N个电容器施加交流电压脉冲或电压脉冲，使N个放电电极产生放电，从而在N点进行放电加工的工序。

14.一种半导体基板的制造方法，其特征在于，

通过所述权利要求13的放电加工方法同时切出多个半导体基板。