[发明专利]末端执行器的磁性垫片

权利要求书

1.一种用以在一真空环境中支撑且转移大面积衬底的设备，包括：

腕部，其耦合到驱动机构；

一个或多个末端执行器，其耦合到该腕部，其中该一个或多个末端执行器用以接受且支撑大面积衬底；

多个末端执行器垫片，其设置在该一个或多个末端执行器的衬底接受表面上，其中该多个末端执行器垫片用以接受该大面积衬底且避免该大面积衬底与该一个或多个末端执行器之间的直接接触，该多个末端执行器垫片未使用任何固定件机械地接合到该一个或多个末端执行器。

2.如权利要求1所述的设备，其中该多个末端执行器垫片通过磁力耦合到该一个或多个末端执行器，该设备还包括多个磁性组件，其设置在该一个或多个末端执行器中，其中各个磁性组件用以将相应的末端执行器垫片固定到该一个或多个末端执行器。

3.如权利要求2所述的设备，其中各个磁性组件包括：

磁芯，其设置在凹部中，该凹部形成在该相应的末端执行器中；

盖体，其设置在该凹部中且位于该磁芯上方；以及

固定装置，其将该磁芯与该盖体固定到该相应的末端执行器。

4.如权利要求3所述的设备，其中该磁芯是由被涂覆以氧化钇的钐钴磁铁制成，并且其中该盖体包含高效能聚酰亚胺系聚合物。

5.如权利要求2所述的设备，其中该多个末端执行器垫片中每一者分别包括：

铁磁基部构件，其用以将该末端执行器垫片固定在该多个磁性组件其中一者附近；以及

垫片构件，其耦合到该铁磁基部构件，其中当该末端执行器垫片固定到该相应的末端执行器时，该垫片构件的至少一部分突出于该一个或多个末端执行器的该衬底接受表面上方，并且该突出部分用以接受该大面积衬底。

6.如权利要求5所述的设备，其中该铁磁基部构件是由包含镍与钼的高抗腐蚀合金制成，其中该垫片构件是由全氟弹性体制成，其中各个末端执行器还包括夹钳结构，该夹钳结构用以将该铁磁基部构件接合到该垫片构件，并且其中该铁磁基部构件包括突出上部，该突出上部用以将该垫片构件的一部分提升以用于接受该大面积衬底。

7.如权利要求5所述的设备，其中该垫片构件包含：

下部，其适于接触该铁磁基部构件；以及

上部，其从该下部延伸，其中该上部的截面形成U形。

8.如权利要求7所述的设备，其中该上部为从该下部延伸的圆锥。

9.一种用于真空机械手臂的末端执行器的垫片组件，包括：

基部构件，其适于将该垫片组件固定到该末端执行器，其中该基部构件具有用于接触该末端执行器的第一侧以及位于该第一侧对面的第二侧；

垫片构件，其耦合到该基部构件，其中该垫片构件具有接触该基部构件的第二侧的第一侧以及位于该垫片构件的第一侧对面的第二侧，并且该垫片构件的第二侧的至少一部分被提升以形成接受且支撑衬底的接触区域；以及

固定装置，其接合该基部构件与该垫片构件。

10.如权利要求9所述的垫片组件，其中该基部构件包含铁磁材料，并且用以通过磁力被贴附到该末端执行器。

11.如权利要求10所述的垫片组件，其中该基部构件具有两个从该第一侧延伸的柱，并且该两个柱用以内嵌到形成在该末端执行器中的凹部内，以便于定位。

12.如权利要求10所述的垫片组件，其中该基部构件具有位于该第二侧上的凸中央部，该凸中央部用以提升该垫片构件的一部分以形成该接触区域，并且其中该基部构件具有一个或多个形成在该凸中央部中的维护孔，并且该一个或多个维护孔用以接受用于将该垫片组件从该末端执行器移除的工具。

13.如权利要求10所述的垫片组件，其中该垫片构件包括从该垫片构件的第二侧延伸的凸结构，并且该凸结构的远端形成该接触区域，并且其中该凸结构为圆锥，并且该接触区域包含该圆锥的开放端。