[发明专利]静电吸盘及其制造方法

权利要求书

1.一种静电吸盘，将由弹性材料构成的具备多个凸部的弹性吸附层设为基板吸附面，并经过由该弹性吸附层来吸附/保持基板，该静电吸盘的特征在于，

当将弹性吸附层中的凸部的高度设为h，将基板吸附面中的单位面积上的凸部的数量设为n，将凸部中的顶面的面积设为A，将形成凸部的弹性材料的弹性率设为E，以吸附力F来吸附/保持整体的平整度为W_h的基板时，以使在吸附力F作用的方向上凸部收缩的量δ满足下面的关系式(1)的方式形成弹性吸附层，且使基板吸附面中的单位面积上的凸部顶面的总面积的比例ξ为10％以上，

5W_h≥δ≥0.5W_h，在此，δ＝(h/nA)·(F/E)…(1)

其中，各值的单位是各个括弧内所示的单位：W_h(m)、h(m)、n(个/m²)、A(m²)、E(Pa)、F(Pa)、δ(m)。

2.根据权利要求1所述的静电吸盘，其中，

凸部的高度h为1μm以上1000μm以下的范围。

3.根据权利要求1所述的静电吸盘，其特征在于，

形成凸部的弹性材料的弹性率E为0.1MPa以上50MPa以下的范围。

4.根据权利要求1所述的静电吸盘，其中，

形成凸部的弹性材料为从由硅橡胶、丙烯橡胶、丁腈橡胶、异戊二烯橡胶、聚氨酯橡胶、乙丙橡胶、表氯醇橡胶、氯丁橡胶、苯乙烯丁二烯橡胶、丁二烯橡胶、氟橡胶、以及丁基橡胶构成的群中选择的一种以上。

5.根据权利要求1所述的静电吸盘，其中，

凸部的顶面具备梨皮状图案。

6.根据权利要求1所述的静电吸盘，其中，

基板的整体的平整度W_h为0.1μm～10μm的范围。

7.一种静电吸盘的制造方法，制造权利要求1～6中任意一项所述的静电吸盘，该方法的特征在于，

通过将具备由弹性材料构成的弹性层、上部绝缘层、形成内部电极的电极层、以及下部绝缘层的静电吸盘片收容在真空吸盘装置中，在静电吸盘片的弹性层侧夹有规定的图案掩模地进行真空吸引，从而形成与图案掩模相对应的凸部而得到弹性吸附层。