[发明专利]流体控制装置

权利要求书

1.一种流体控制装置，具有流体控制部和流体导入部，其中，所述流体控制部是将以一个流量控制器作为基本构成要素且分别具有一个入口以及一个出口的1列流体控制管线配置M列而构成的；所述流体导入部是通过多个开闭阀以入口数为N且出口数为M的方式而构成的，其中N＞M，流体导入部的M个出口和流体控制部的M个入口分别以1∶1的比例连接，其特征在于：

流体导入部被分成：入口侧阻断开放部，该入口侧阻断开放部由多个开闭阀构成，并配置在入口侧，其入口的总数为N个、出口的总数为K个；流体控制部侧阻断开放部，该流体控制部侧阻断开放部由多个开闭阀构成，配置在入口侧阻断开放部和流体控制部之间，其入口的总数为K个、出口的总数为M个，并且，入口侧阻断开放部被分成分别具有2个以上的所希望数量的开闭阀的多组。

2.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，流体导入部包括：第一以及第二入口侧阻断开放部，该第一以及第二入口侧阻断开放部分别由N1×2个以及(N-N1)×2个开闭阀构成；流体控制部侧阻断开放部，该流体控制部侧阻断开放部由4×M个开闭阀构成。

3.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，流体导入部包括：设N＝N1+N2+N3+N4，分别由N1、N2、N3以及N4个开闭阀构成的第一至第四入口侧阻断开放部；由4×M个开闭阀构成的流体控制部侧阻断开放部。

4.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，流体导入部包括：分别由N/4个开闭阀构成的第一至第四入口侧阻断开放部；分别由2×M/2个开闭阀构成的第一以及第二流体控制部侧阻断开放部。

5.如权利要求1～4的任一项所述的流体控制装置，其特征在于，流量控制器是在将孔口的上游侧压力保持在下游侧压力的约2倍以上的状态下进行流体的流量控制的压力式的控制器，该流量控制器构成为包括：在金属薄板上穿设微小的孔而形成且具有所需要的流量特性的孔口；设在孔口的上游侧的控制阀；设在控制阀和孔口之间的压力检测器；根据压力检测器的检测压力P并通过Qc＝K×P，其中K为常数，而对流量Qc进行运算，并且，将流量指令信号Qs和所述运算的流量信号Qc的差作为控制信号Qy向控制阀的驱动部输出的运算控制装置，该流量控制器通过控制阀的开闭调整孔口上游侧压力，并控制孔口下游侧流量，以具有m个该压力式流量控制器的M列的流体控制管线置换具有M个流量控制器的M列流体控制管线，其中m＜M。