[发明专利]流体控制装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造装置等所使用的流体控制装置，尤其涉及多个流体控制器被集成化而形成的流体控制装置。

背景技术

在半导体制造装置所使用的流体控制装置中，正在推进下述的集成化(专利文献1以及专利文献2)：多个流体控制器串联状地配置，并且不经由管或接头地连接，将由此形成的多条管线并列状地设置在基座部件上。

在专利文献1的流体控制装置中，如图7所示，以一个流量控制器21作为基本构成要素而构成1列生产气体控制管线(流体控制管线)，多条(与流量控制器21的数量相同)生产气体控制管线L1～L16并列地配置，由此构成流体控制装置。进一步与流体控制管线L1～L16并列地追加的管线P为清洁气体管线。

图7中，各生产气体控制管线L1～L16从入口侧开始具有过滤器24、入口侧的两个开闭阀23、流量控制器(质量流量控制器)21以及出口侧的开闭阀25，在各生产气体控制管线L1～L16共用的出口部分上设有开闭阀26。

在这样的流体控制装置中，并不是所有生产气体控制管线L1～L16中总是有流体(气体)流动，而是使用2～3条管线，依次切换不同种类、不同流量的气体，通过流量调整器21调整其流量，并向下游侧的腔室输送。作为流量调整器21而使用的质量流量控制器，是内置有流量传感器以及控制阀等的装置，价格高且需要频繁的维护，这成为导致整体的成本增加的主要原因。另一方面，在半导体制造装置所使用的流体控制装置中，存在流体种类增加的倾向，与此相伴，存在空间以及成本增加的问题。

另外，在专利文献2的流体控制装置中，具有流体控制部和流体导入部，其中，流体控制部是将以一个流量控制器作为基本构成要素且分别具有一个入口以及一个出口的1列流体控制管线配置M列而构成的；流体导入部是通过多个开闭阀以入口数为N(＞M)且出口数为M的方式而构成的，流体导入部的M个出口和流体控制部的M个入口分别以1∶1的比例连接。

若使该专利文献2的结构与图7所示的现有的流体控制装置对应，则如图6所示，成为下述装置：该装置具有：将以M个(图示为8个)流量控制器21作为基本构成要素的流体控制管线L1～L8配置M列而成的流体控制部2；通过多个开闭阀23以入口数为N(图示为16个)且出口数为M的方式构成的流体导入部3。

在该图中，各流体控制管线L1～L8是对生产气体(process gas)进行控制的管线，以与这些管线并列的方式设有1列清洁气体管线P。

作为流量控制器21，使用质量流量控制器。由于质量流量控制器21能够进行流量调整的范围较窄，即使是相同种类的流体，在其流量调整范围不同的情况下，要使用不同的质量流量控制器21，通过M列的流体控制管线L1～L8，能够对M个种类的生产气体(包括生产气体相同但流量不同的情况)的流量进行调整。

流体导入部3由N×M个开闭阀23构成，流体导入部3的M个出口和流体控制部2的M个入口分别以1∶1对应的方式连接。

在流体导入部3的N个各入口上分别设有过滤器24以及手动阀27。在M列的各流体控制管线L1～L8上分别设有两个出口侧开闭阀25。另外，在流体控制部2的出口侧设有各流体控制管线L1～L8共用的压力开关28、过滤器24以及开闭阀26。

此外，作为流量控制器，除了质量流量控制器，还已知压力式控制器(参照专利文献3)。

专利文献1：日本特开2002-206700号公报

专利文献2：日本特开2000-323464号公报

专利文献3：日本专利第3387849号公报

根据上述图6所示的流体控制装置，与图7所示的流体控制装置相比，具有能够将包含成本相对较高且维护麻烦的流量控制器21的流体控制管线从16列(N列)减少到8列(M列)的优点，但由于开闭阀23的数量大幅增加，在欲增加入口数量的情况下，存在着无法充分发挥该优点的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种流体控制装置，能够减少成本，并且能够实现空间的减少。