[发明专利]有源矩阵基板、显示面板、显示装置和激光照射方法

说明书

技术领域

本发明涉及显示面板中包含的有源矩阵基板、显示面板自身、搭 载显示面板的显示装置，进而涉及对有源矩阵基板照射激光的方法。

背景技术

在液晶显示装置这样的显示装置中，像素控制使用TFT(Thin Film  Tra nsistor，薄膜晶体管)这样的开关元件。搭载有这种开关元件的基 板被称为有源矩阵基板，不仅用于液晶显示装置，还能够被各种显示 装置采用。

于是，对这种搭载有源矩阵基板的显示面板，近年来提出了高精 细化的要求，像素数达到数十万个以上。但是，制造仅由完全没有缺 陷的像素构成的显示面板是极其困难的。这是因为，通常在显示面板 的制造工序中，因灰尘或成膜条件等易引起各配线的断线、短路或开 关元件的特性不良等，由此导致很多像素的一部分成为点状或线状的 缺陷(亮点等)。一直以来提案有修正这样的像素缺陷的技术(例如专 利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2003-241155号公报

发明内容

发明要解决的课题

作为修正像素缺陷的技术的一个例子，能够列举如图14所示的例 子：使电容信号线125与TFT110的漏极电极115短路，该电容信号线 125与被栅极信号线121和源极信号线122划分的、成矩阵配置的像素 (像素电极124)重叠。

在该技术中，为了将电容信号线125的信号供给至像素电极124， 首先，从漏极电极115的顶端126起至TFT110为止的一部分用激光切 断(其中，对切断位置标注附图标记151)。由此，可靠地切断源极信 号向像素电极124的供给。

接着，对隔着TFT110的栅极绝缘膜与电容信号线125重叠的漏极 电极115的顶端126(后面称为辅助电容电极126)照射激光(其中， 对激光的照射区域标注附图标记152)。具体而言，如作为图14的b-b’ 线向视截面图的图15所示，对成为层的电容信号线125、栅极绝缘膜 112和辅助电容电极126照射激光(其中，标记w指的是激光光斑sp 的直径)。但是，该激光的强度调整需要适当设定。

例如，如果激光的强度过强，则如图16所示，虽然在栅极绝缘膜 112形成接触孔h1，但是辅助电容电极126飞散，导致该辅助电容电极 126与电容信号线125难以连接。反之，如果激光的强度过弱，则如图 17所示，在栅极绝缘膜112没有形成接触孔h1，导致辅助电容电极126 与电容信号线125没有连接。从而，在这些情况下，流过电容信号线 125的信号不会变换成源极信号供给至像素电极124(即像素)，亮点 等不被消除。

本发明为了解决上述问题而完成，其目的在于提供一种在对有源 矩阵基板照射激光时，能够对被照射部件供给多种激光能量的有源矩 阵基板等，进而提供一种这样的能够供给多种激光能量的激光照射方 法。

用于解决课题的技术手段

一种有源矩阵基板包括：基板；安装于基板的开关元件；与开关 元件的栅极电极连接的栅极信号线；与开关元件的源极电极连接的源 极信号线；开关元件的漏极电极；作为漏极电极的一部分的部分电极； 与部分电极相对的电容信号线；和存在于部分电极与电容信号线之间 的绝缘膜。而且，在该有源矩阵基板中，在部分电极形成缺口或开孔。

在内置于显示面板中的有源矩阵基板，包括控制像素的开关元件。 该开关元件基于流过栅极信号线的栅极信号，将流过源极信号线的源 极信号供给至像素。而且，为了保持该源极信号，作为漏极电极的一 部分的部分电极，隔着绝缘膜与电容信号线相对，由此成为辅助电容。

但是，在这样的有源矩阵基板，也存在开关元件破损的情况，此 时，被开关元件控制的像素例如成为亮点，成为画质劣化的一个原因。 为了尽可能地消除亮点等，对有源矩阵基板的一部分照射激光，供给 激光能量的技术是已知的。

详细而言，为了将流过电容信号线的信号变换为源极信号供给至 像素，对有源矩阵基板的一部分照射激光，由此使部分电极与电容信 号线熔接(熔敷)。而且，像这样照射激光的情况下，在有源矩阵基板 的部分电极形成有缺口或开孔时，缺口等的空缺部分使激光光斑的一 部分通过，另一方面缺口等的周缘部分遮挡激光光斑的其他部分。而 且，通过是否对这样的激光进行遮光，实现下述情况。