[发明专利]一种光刻机对准信号多通道采集校准装置

权利要求书

1.一种光刻机对准信号多通道采集校准装置，其特征在于，包括：

光电传感器，用于将经过调制的光强信号转换为调制电流信号；

前置放大器，用于将所述调制电流信号转换为调制电压信号；

可变增益放大器，用于将所述调制电压信号调整至设定幅值；

输入信号强度信号校准器，用于校准所述可变增益放大器所产生的输入信号强度信号并将其输出，所述输入信号强度信号校准器包括：

放大器，该放大器的负输入端经由第一电阻器接收来自所述可变增益放大器的输入信号强度信号；

第二电阻器和第三电阻器，连接于该放大器的负输入端和输出端之间，其中第三电阻器为可调电阻器；

串联连接于正、负电源之间的第四、第五和第六电阻器，其中第五电阻器为可调电阻器，第五电阻器的可调接线端连接到该放大器的正输入端；

带通滤波器，用于滤除所述调制电压信号中的直流成分和其它干扰成分；

解调器，用参考信号对所述调制电压信号进行解调；

低通滤波器，用于滤除所述解调器输出的信号中的调制频率成分。

2.如权利要求1所述的光刻机对准信号多通道采集校准装置，其特征在于，所述输入信号强度信号校准器调整输入信号强度信号的直流偏置和比例，其中通过调整直流偏置来消除由于漏电流和电路噪声所产生的输入信号强度信号误差，通过调整比例来消除各信号采集通道之间的不一致性。

3.如权利要求1所述的光刻机对准信号多通道采集校准装置，其特征在于，所述可变增益放大器由可变增益运算放大器、调制电压信号有效值检测电路、增益控制信号生成电路和接口信号幅值调整电路组成。

4.如权利要求1所述的光刻机对准信号多通道采集校准装置，其特征在于，所述带通滤波器采用中心频率为调制信号频率的带通滤波电路，滤除所述调制电压信号中的非调制频率成分和直流成分。

5.如权利要求1所述的光刻机对准信号多通道采集校准装置，其特征在于，所述解调器将所述调制电压信号和所述参考信号进行乘法运算，从而分离所述调制电压信号中的调制信号频率和包络线信号频率。

6.如权利要求1所述的光刻机对准信号多通道采集校准装置，其特征在于，所述低通滤波器滤除经所述解调器输出的信号中的两倍调制频率成分，并保留包络线信号频率成分。