[发明专利]光照射装置无效
申请号: | 201010129561.3 | 申请日: | 2010-03-08 |
公开(公告)号: | CN101859071A | 公开(公告)日: | 2010-10-13 |
发明(设计)人: | 铃木一好 | 申请(专利权)人: | 优志旺电机株式会社 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 徐冰冰;黄剑锋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 照射 装置 | ||
技术领域
本发明涉及在半导体元件及印刷基板、液晶基板等的制造用的曝光装置中使用的光照射装置,特别涉及在该光照射装置中具备通过冷却风实现的将灯和聚光镜有效地冷却的机构的光照射装置。
背景技术
作为在半导体元件及印刷基板、液晶显示基板的曝光装置中使用的光源,使用短弧型放电灯、例如几kW到几十kW的大型超高压水银灯。
在图7中,表示作为上述曝光装置的光照射部使用的、以往的光照射装置的结构的一例。
光照射装置30具备由短弧型的灯1、椭圆聚光镜2等构成的光源部10、第1平面镜13、集成透镜14、第2平面镜16、准直透镜17等。
短弧型的放电灯1配置为,使发光点处于椭圆聚光镜2的第一焦点,被从灯点亮电源11供给电力而点亮。从灯1放射的光被形成在聚光镜2的内侧的反射面反射,从该图上侧的开口射出。
从聚光镜2的开口射出的光被第1平面镜13反射,聚光在聚光镜2的第二焦点上。在第二焦点上,配置有使光照射面上的照度分布变得均匀的集成透镜14(也称作复眼透镜)。
从集成透镜14射出的光经由闸门机构15被第2平面镜16折回,入射到使光成为平行光的准直透镜17中,成为平行光而从光照射装置30射出,照射在光照射面18上。另外,也可以代替准直透镜17而使用准直镜。
将灯1及聚光镜2冷却的冷却风被从冷却风引入口10a引入,被排气风扇20从排气口19排气。
在图8中表示具备灯1和聚光镜2的光源部10的放大图。使用该图对灯和聚光镜的支撑结构进行说明。
聚光镜2配置为,使将反射的光射出的开口朝上。聚光镜2被置于聚光镜支撑板3的上方。聚光镜支撑板3经由弹簧3a安装在框架6上。通过该弹簧3a,在聚光镜支撑板3上作用着要将聚光镜2向该图上方向抬起的力。
聚光镜支撑板3上的聚光镜2被该弹簧3a的力推压在聚光镜2的开口推压的聚光镜推压板7上。在与聚光镜2的开口相反侧形成有贯通孔2a。聚光镜2在该贯通孔2a的周边部被聚光镜支撑板3支撑。另外,在聚光镜支撑板3上,也形成有与贯通孔2a相同直径的贯通孔3c。
另外,作为这样关于将开口朝上配置的聚光镜2的支撑结构的现有技术,有专利文献1。
安装在聚光镜内的短弧型的灯1将灯1的轴穿通到上述贯通孔2a中,固定支撑在设于聚光镜2的外侧背后的台座4上。
该台座4安装在光照射装置的灯轴调节机构5上。灯轴调节机构5具备使灯1沿XYZ方向移动的台。通过使灯轴调节机构5移动而进行调节,以使灯1的发光点处于聚光镜2的第一焦点。
此外,台座4连接在灯点亮电源11上。在固定于台座4上的一侧的电极上经由该台座4、在另一聚光镜2的开口侧的电极上安装来自灯电源11的供电线11a,经由该线进行向灯1的电力供给。
利用图7和图8对灯1和聚光镜2的冷却进行说明。另外,在图8中,仅在图的左侧表示了冷却风的流动,但在图的右侧也产生同样的风的流动。另外,实际上冷却风在灯和聚光镜的整个周围流动。
灯1和聚光镜2由于在点亮时为高温,所以被冷却风冷却。冷却风被从形成在光照射装置30的聚光镜2的背后的冷却风引入口10a引入到内部中。
将灯1和聚光镜2冷却后的冷却风被从形成在光照射装置30的聚光镜2的开口侧的排气口19排气。在排气口19上,经由管道安装有排气风扇20。
被从冷却风引入口10a引入的冷却风如图8所示,被分为以下的两部分而流动。一部分是由图中的(a)表示的、从聚光镜2的贯通孔2a进入到聚光镜2的内侧而朝向排气口19的流。另一部分是由(b)表示的围绕聚光镜2的外侧朝向排气口19的流。
另外,在专利文献2中,提出了具备调节灯的冷却风量的机构和控制冷却风调节机构而变更冷却风量的控制机构的曝光装置。
【专利文献1】日本特开2000-40655号公报
【专利文献2】日本特开2008-58899号公报
冷却风不仅用于灯1、还用于聚光镜2的冷却。在光照射装置被作为曝光装置的光照射部使用的情况下,聚光镜2使用在玻璃上蒸镀着不反射曝光不需要的可视光及红外光、而仅反射曝光需要的紫外线的蒸镀膜的反射镜的情况较多。
在使用这样的蒸镀膜反射镜的情况下,需要将反射镜的温度保持为作为蒸镀膜的耐热温度的例如350℃以下,以使蒸镀膜不会脱落。相对于此,称作灯的封体的发光管的部分的点亮中的最适合温度被称为650℃~750℃。
因此,如果聚光镜2不进行冷却,则通过来自灯1的封体的辐射热等使温度上升,例如成为350℃以上,有发生蒸镀膜脱落等的不良状况的情况。
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