[发明专利]冷阴极电离真空计、真空处理设备和放电开始辅助电极

权利要求书

1.一种冷阴极电离真空计，所述冷阴极电离真空计包括：

阳极；

阴极，所述阴极被布置成与所述阳极一起形成放电空间；以及

放电开始辅助电极，所述放电开始辅助电极被布置在所述放电空间中，并且被电连接至所述阳极和所述阴极中的至少一方，并且包括碳纳米管层。

2.根据权利要求1所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述放电开始辅助电极还包括用于支撑所述碳纳米管层的支撑构件。

3.根据权利要求2所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述支撑构件是被安装于所述阳极的放电开始阳极辅助电极板；其中，

所述碳纳米管层被形成于所述放电开始阳极辅助电极板。

4.根据权利要求3所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述放电开始辅助电极包括保护构件，所述保护构件用于覆盖形成于所述放电开始阳极辅助电极板的所述碳纳米管层。

5.根据权利要求3所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述放电开始阳极辅助电极板包括：位于中央部的开口，所述开口允许所述阳极插过；和弹性支撑爪，所述弹性支撑爪被布置于所述开口的内周侧。

6.根据权利要求3所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述放电开始阳极辅助电极板包括：第一电极构件，其具有位于中央部的开口，所述开口允许所述阳极插过；和第二电极构件，其被固定到所述第一电极构件的外周侧；其中，所述碳纳米管层仅形成于所述第二电极构件。

7.根据权利要求3所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述碳纳米管层仅形成于所述放电开始阳极辅助电极板的位于所述阴极被密封的一侧的表面。

8.根据权利要求1所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述冷阴极电离真空计还包括阴极辅助电极保护板，所述阴极辅助电极保护板包括位于中央部的开口，所述开口允许所述阳极插过，并且所述阴极辅助电极保护板被安装于所述阴极，其中，

所述阴极辅助电极保护板的所述开口的内径比所述放电开始辅助电极的直径小。

9.根据权利要求1所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述冷阴极电离真空计还包括阳极辅助电极保护板，所述阳极辅助电极保护板被安装在比电连接至所述阳极的所述放电开始辅助电极的安装位置靠近连接至所述冷阴极电离真空计的真空容器的一侧的位置，其中，

所述阳极辅助电极保护板的直径比所述放电开始辅助电极的直径大。

10.根据权利要求1所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述放电开始辅助电极被可拆装地安装于所述阴极。

11.根据权利要求10所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述放电开始辅助电极在与所述阳极相对的位置包括所述碳纳米管层。

12.根据权利要求10所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述放电开始辅助电极在其外周包括弹性支撑爪，并且通过所述弹性支撑爪对所述阴极的内表面施加向外的力而将所述放电开始辅助电极保持于所述阴极。

13.根据权利要求10所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述放电开始辅助电极包括开口，所述开口用于允许所述阳极被插入，并且所述放电开始辅助电极具有形成在所述开口的内缘部的突起。

14.根据权利要求13所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述突起沿所述阳极的预定方向弯曲。

15.根据权利要求10所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述放电开始辅助电极包括：第一电极构件，其具有位于中央部的开口，所述开口用于允许所述阳极插过；和第二电极构件，其被固定到所述第一电极构件的外周侧，并且被支撑于所述阴极的内侧；其中，所述碳纳米管层仅形成于所述第一电极构件。

16.根据权利要求10所述的冷阴极电离真空计，其特征在于，所述放电开始辅助电极包括保护构件，所述保护构件用于覆盖形成有所述碳纳米管层的部分。