[发明专利]冷阴极电离真空计、真空处理设备和放电开始辅助电极

说明书

技术领域

本发明涉及冷阴极电离真空计(cold cathode ionizationvacuum)、包括该冷阴极电离真空计的真空处理设备、以及放电开始辅助电极。特别地，本发明涉及使用放电开始辅助电极的冷阴极电离真空计、包括该冷阴极电离真空计的真空处理设备、以及放电开始辅助电极。

背景技术

冷阴极电离真空计通过阳极和阴极之间的自放电而触发气体电离，以测量例如形成真空处理设备的真空容器中的气压。已知许多类型的冷阴极电离真空计：彭宁(penning)型、磁控管(magnetron)型、逆磁控管(inverted magnetron)型(参见日本特开平10-19711号公报)。特别地，磁控管或逆磁控管型被构造成具有高的电子俘获效率(electron trappingefficiency)并且即使在高度真空区域中也能够产生稳定的自持(self-sustaning)放电，从而适合于高度真空区域中的测量。

在冷阴极电离真空计中，为了开始放电，需要施加高电压以触发气体电离。然而，在将高电压施加到冷阴极电离真空计的定时和放电电流开始随着自持放电的开始而流动的定时之间，将产生发电延迟(generated delay)。该时间延迟影响了开始测量之前的时间段。

在日本特开平06-26967号公报所说明的逆磁控管型冷阴极电离真空计中，通过在阴极处设置直接产生足以使阴极发出光电子的电磁辐射的放电触发部件，能够缩短从施加电压到开始自持放电的放电触发时间段。

在日本特开平06-26967号公报所说明的冷阴极电离真空计中，因为该冷阴极电离真空计包括用于触发放电的辉光灯(glowlamp)或紫外线照射灯(ultraviolet irradiation lamp)以及用于该目的的电路，所以存在该设备的结构复杂的问题。

磁控管或逆磁控管型冷阴极电离真空计表现出了对带电粒子的高俘获效果，使得真空计的容器的壁面容易被溅射。因此，在长时间使用的情况下，溅射膜或产品将附着到灯表面，从而将削弱紫外线的照射。结果，存在如下问题：将减少用于开始放电的光电子的产生，并且将不容易触发放电。

发明内容

本发明的目的是提供无需使设备的结构复杂化即使在长时间使用的情况下也能够在短时间内触发放电的冷阴极电离真空计、包括该冷阴极电离真空计的真空处理设备、以及放电开始辅助电极。

本发明提供一种冷阴极电离真空计，所述冷阴极电离真空计包括：阳极；阴极，其被布置成与阳极一起形成放电空间；和放电开始辅助电极，其包括碳纳米管层，被布置在放电空间中，并且被电连接到阳极和阴极中的至少一方。

根据本发明，可以在不使设备复杂化的情况下在短时间内触发放电。

附图说明

图1是示出设置有根据本发明的第一实施方式的冷阴极电离真空计的真空处理设备的示意图。

图2是示出根据本发明的第一实施方式的冷阴极电离真空计的横向剖视图。

图3是沿图2的线F-F截取的剖视图。

图4是图2的E部分的放大图。

图5是示出在根据本发明的第一实施方式的冷阴极电离真空计中使用辅助电极保护板的应用示例的图。

图6A是示出根据本发明的第二实施方式的放电开始辅助电极的平面图。

图6B是示出根据本发明的第二实施方式的放电开始辅助电极的侧视图。

图7A是示出根据本发明的第三实施方式的放电开始辅助电极的平面图。

图7B是示出根据本发明的第三实施方式的放电开始辅助电极的侧视图。

图7C是示出根据本发明的第三实施方式的放电开始辅助电极的剖视图。

图8是示出根据本发明的第五实施方式的冷阴极电离真空计的横向剖视图。

图9是沿图8的线a-b截取的剖视示意图。

图10是图8的C部分的放大图。

图11A是示出根据本发明的第六实施方式的放电开始辅助电极的侧视图。

图11B是示出根据本发明的第六实施方式的放电开始辅助电极的剖视图。

图11C是根据本发明的第六实施方式的放电开始辅助电极的正视图。

图12A是示出根据本发明的第七实施方式的放电开始辅助电极的侧视图。

图12B是示出根据本发明的第七实施方式的放电开始辅助电极的剖视图。

图12C是示出根据本发明的第七实施方式的放电开始辅助电极的正视图。

图13是图12A至图12C的放电开始辅助电极的放大图。

图14A是根据本发明的第八实施方式的放电开始辅助电极的侧视图。