[发明专利]用于质谱仪的离子引出透镜

权利要求书

1.一种用于质谱仪的离子引出透镜，其特征在于：包括第一级透镜(1)，所述第一级透镜(1)下方设置有第二级透镜(2)，所述第二级透镜(2)下方设置有第三级透镜(3)，所述第一级透镜(1)、第二级透镜(2)和第三级透镜(3)通过石英柱(6)贯穿固定，所述第二级透镜(2)与第三级透镜(3)一端连接有一导电电极(7)。

2.根据权利要求1所述的用于质谱仪的离子引出透镜，其特征在于：所述第一级透镜(1)、第二级透镜(2)和第三级透镜(3)之间通过陶瓷垫片(4)隔开，所述第一级透镜(1)上端和第三级透镜(3)下端还设置有陶瓷垫片(4)。

3.根据权利要求2所述的用于质谱仪的离子引出透镜，其特征在于：所述第二级透镜(2)与所述第三级透镜(3)之间的陶瓷垫片(4)之间安装有一弹片结构(5)。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的用于质谱仪的离子引出透镜，其特征在于：所述第一级透镜(1)、第二级透镜(2)和第三级透镜(3)的材料为不锈钢，表面粗糙度Ra达到0.8-1.6。