[发明专利]石英玻璃坩埚的搬运装置及搬运方法

权利要求书

1.一种石英玻璃坩埚的搬运装置，夹持石英玻璃坩埚并使其移动，其特征在于：

彼此相向的一对夹持单元，组装在框架所包括的一对臂部，且在所述石英玻璃坩埚的径方向上夹持所述石英玻璃坩埚的主体部，所述框架包括沿水平方向延伸的横梁，且所述一对臂部在相对于该横梁的中心轴线方向正交的方向上从该横梁突出且至少一个可沿该横梁的中心轴线方向移动；

卡止单元，邻接于所述各夹持单元而设置，由在所述石英玻璃坩埚的中心轴线方向上夹住并卡止所述石英玻璃坩埚且可在所述石英玻璃坩埚的中心轴线方向上接近或离开的一对舌片构成；以及

驱动单元，使所述框架沿所述石英玻璃坩埚的中心轴线来回运动。

2.根据权利要求1所述的石英玻璃坩埚的搬运装置，其特征在于：

还包括转动单元，该转动单元组装在所述臂部，通过所述一对夹持单元而使所述石英玻璃坩埚以沿与所述石英玻璃坩埚的中心轴线正交的方向延伸的假想线为轴进行转动。

3.根据权利要求1或2所述的石英玻璃坩埚的搬运装置，其特征在于：

所述夹持单元至少包括一根辊，该辊的轴线沿所述石英玻璃坩埚的中心轴线方向延伸。

4.根据权利要求3所述的石英玻璃坩埚的搬运装置，其特征在于：

包括多根所述辊，该多根辊彼此离开。

5.根据权利要求3所述的石英玻璃坩埚的搬运装置，其特征在于：

所述辊在外周具有弹性层。

6.根据权利要求1或2所述的石英玻璃坩埚的搬运装置，其特征在于：

所述一对舌片中的至少一个舌片可在所述石英玻璃坩埚的中心轴线方向上摇动。

7.根据权利要求1或2所述的石英玻璃坩埚的搬运装置，其特征在于：

所述一对舌片包括弹性构件。

8.一种石英玻璃坩埚的搬运方法，使用根据权利要求1至7中任一项所述的石英玻璃坩埚的搬运装置来对石英玻璃坩埚进行处理，其特征在于包括：

在所述石英玻璃坩埚的径方向上夹住并夹持载置于基座的所述石英玻璃坩埚的主体部的工序；

在所述石英玻璃坩埚的中心轴线方向上夹住并卡止所述石英玻璃坩埚的工序；

提起所述石英玻璃坩埚的工序；

将所述石英玻璃坩埚载置于基座的工序；以及

解除所述石英玻璃坩埚的夹持及卡止的工序。

9.如权利要求8所述的石英玻璃坩埚的搬运方法，其特征在于：

在所述提起石英玻璃坩埚的工序之后，还包括使所述石英玻璃坩埚转动的工序。