[发明专利]用于对对象的多个侧面成像的系统和方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于检查诸如电气对象的对象的系统和方法，所述对象尤其是小而细长的电气对象，例如，但不限于电容器。 

背景技术

外部形貌是通过将被检查对象的图像与参考图像比较进行的检查方法之一。对于一面或两面成像，例如晶圆或印刷电路板而言，从垂直视图或从下方视图拍摄图像进行检查，这是简单的任务。 

对于六面对象而言，流程更加复杂。对于很多产品而言需要这样的检查，一些这种产品非常小或量很大。例如，需要检查微电子生产(陶瓷电容器、芯片和电阻器)中使用的电气对象的整个侧面；利用自动光学检查系统可以识别出很多缺陷，例如尺寸测量、陶瓷缺陷和终端缺陷。 

在检查过程期间或检查过程之前可能会损伤诸如但不限于小电容器的对象。灰尘以及对象碎片可能会阻塞检查装置。 

测量诸如电容器的绝对电气特性是较长的过程，这限制了检查过程的处理量。 

越来越需要提供检查对象的高效率系统和方法。 

发明内容

根据本发明的实施例，提供了一种用于采集对象的多个图像的系统。该系统可以包括：(a)用于将所述对象传送到第一成像区域的第一纵向传送机；(b)用于将所述对象传送到第二成像区域的第二纵向传送机；(c)适于获得位于所述第一和第二成像区域的每个中的对象的图像的成像器；(d)旋转模块，所述旋转模块被配置成在所述对象的第一侧面面对成像器时从所述第一纵向传送机接收对象，绕所述对象的纵轴旋转每个对象使得所述对象的第二侧面面对所述成像器，并将所述对象提供给所述第二纵向传送机； 以及(e)气体供应单元；其中所述第一和第二纵向传送机的每个包括多个通道；其中每个通道包括(i)对象传送部分以及(ii)防止对象进入的气体输送部分；其中每个通道成形为防止对象阻塞所述防止对象进入的气体输送部分并便于以纵向方式在所述对象传送部分之内传送对象；其中所述对象传送部分具有毫米级的宽度；其中所述气体供应单元被配置成向每个通道的防止对象进入的气体输送部分供应气体；并且其中气体供应有助于在每个通道的所述对象传送部分之内传送对象。 

根据本发明的实施例，提供了一种用于采集对象的多个图像的方法。该方法可以包括：(a)通过第一纵向传送机的多个通道的对象传送部分将对象纵向传送到第一成像区域；其中所述纵向传送包括向所述通道的防止对象进入的气体输送部分提供气体；其中每个通道成形为防止对象阻塞所述防止对象进入的气体输送部分；其中所述对象传送部分具有毫米级的宽度；在所述第一成像区域获得所述对象第一侧面的图像；(b)由第一旋转模块旋转所述对象，所述第一旋转模块绕所述对象的纵轴旋转所述对象；(c)通过第二纵向传送机的多个通道的对象传送部分将对象纵向传送到第二成像区域；其中所述纵向传送包括向所述通道的防止对象进入的气体输送部分提供气体；其中每个通道成形为防止对象阻塞所述防止对象进入的气体输送部分；其中所述对象传送部分具有毫米级的宽度；以及(c)在所述第二成像区域获得所述对象第二侧面的图像。 

附图说明

这里将参考附图仅通过举例的方式描述本发明。现在详细具体参考附图，应当强调的是，细节只是以举例的方式示出的，其目的在于对本发明的各实施例进行说明性的讨论。在附图中： 

图1a-1b示出了根据本发明实施例用于对对象成像的系统； 

图2a-2c是根据本发明的各实施例的第一纵向传送机的两个通道的截面图； 

图3a-3b是根据本发明实施例的第一纵向传送机的通道的截面图； 

图3c示出了多个通道以及向这些通道供应气体的气体供应元件； 

图4示出了根据本发明实施例的两个纵向传送机和多个停止元件的一部分； 

图5a-5c示出了根据本发明各实施例的第一旋转模块的旋转元件和第一和第二纵向传送机的部分； 

图6示出了根据本发明实施例的系统； 

图7a、7b和8示出了根据本发明实施例的总线、加载机的加载元件和卸载机的卸载元件； 

图9a和9b示出了根据本发明实施例的方法； 

图10示出了根据本发明实施例的方法；以及 

图11示出了根据本发明实施例的方法。 

具体实施方式

在以下说明书中，将参考本发明实施例的具体范例描述本发明。不过，显然，在不背离所附权利要求界定的涵盖更宽的本发明的精神和范围的情况下，可以在其中做出各种修改和变化。