[发明专利]钨钛合金靶材加工方法和加工装置有效

专利信息
申请号: 201010530355.3 申请日: 2010-10-29
公开(公告)号: CN102029570A 公开(公告)日: 2011-04-27
发明(设计)人: 姚力军;潘杰;王学泽;鲍伟江 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料有限公司
主分类号: B24B37/00 分类号: B24B37/00;C23C14/34
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 骆苏华
地址: 315400 浙江省余姚市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 钛合金 加工 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种钨钛合金靶材加工方法,其特征在于,包括:

采用粒度为120至150目的金刚石磨具对钨钛合金靶材进行机械加工,金刚石磨具转速为3500至4000转/分钟,进给量为每次不大于0.02毫米,进给速度为不大于500毫米/分钟。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:

所述金刚石磨具的粒度为120至130目。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:

所述金刚石磨具的转速为3500至3600转/分钟。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:

所述金刚石磨具的进给量为每次0.018至0.02毫米。

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:

所述金刚石磨具的进给速度为450至500毫米/分钟。

6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括:

在加工过程中,采用乳化液对金刚石磨具和钨钛合金靶材进行冷却控制。

7.一种钨钛合金靶材加工装置,其特征在于:

所述加工装置的材料中包括粒度为120至150目的金刚石。

8.根据权利要求7所述的加工装置,其特征在于:

所述加工装置的材料中包括粒度为120至130目的金刚石。

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