[发明专利]用于籽晶传动装置的称重机构有效
申请号: | 201010556150.2 | 申请日: | 2010-11-24 |
公开(公告)号: | CN102478420A | 公开(公告)日: | 2012-05-30 |
发明(设计)人: | 王宏宇;郭东民;黄晓霞;张国栋;佟辉;吕琪;王尧 | 申请(专利权)人: | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
主分类号: | G01G19/62 | 分类号: | G01G19/62 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 许宗富 |
地址: | 110168 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 籽晶 传动 装置 称重 机构 | ||
技术领域
本发明属于真空设备技术领域,特别是涉及一种用于籽晶传动装置的称重机构。
技术背景
目前,公知的单晶炉设备中的称重机构的功能实现方法上较笨重,在称重机构中,因为大气下的称重传感器要测到真空内样品的重量,多采用测量整体机构的方法,使得称重传感器在量程的选择上远远大于实际样品的重量。
发明内容
针对上述存在的技术问题,本发明提供一种用于籽晶传动装置的称重机构。它采用膨胀节密封结构,使得大气下的称重传感器可以测量真空内样品的重量。
为了实现上述目的,本发明的技术方案如下:
本发明包括外框、称重传感器、调节支座和膨胀节组件,所述外框固定在籽晶轴的顶端法兰上,籽晶轴的顶端法兰下端面密封安装有膨胀节组件,支座固定在籽晶轴侧面膨胀节组件的下法兰上,安装在膨胀节组件下法兰上的调节螺钉与支座接触,称重传感器分别固定在外框和支座上,工作时,在籽晶轴的另一端连接有样品。
所述的膨胀节组件包括膨胀节和安装在膨胀节两端的上、下法兰。所述的上法兰为圆周面上带有环形槽的结构,与籽晶轴连接的端面为与其配合的结构。
本发明的有益效果是:
本发明采用了膨胀节密封结构,使称重传感器可根据实际样品适当选择量程,有效的缩小了称重传感器的量程 ;且使得大气下的称重传感器可精确测量真空内样品的重量。
本发明不仅解决了称重传感器选择的局限性、机构笨重的问题,且结构简单、整体部局合理。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图中:1.外框,2.称重传感器,3.籽晶轴,4.支座,5.上法兰,6.膨胀节,7.下法兰,8.调节螺钉,9.样品。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细说明。
实施例1:如图1所示,本发明包括外框1、称重传感器2、调节支座和膨胀节组件,所述外框1固定在籽晶轴3的顶端法兰上,在籽晶轴3顶端法兰的下端密封安装有膨胀节组件,支座4通过多个调节螺钉8安装在籽晶轴3侧面膨胀节组件的下法兰7上,称重传感器2分别固定在外框1和支座4上,工作时,在籽晶轴3的另一端连接有样品9。
本例所述的膨胀节组件包括膨胀节6和安装在膨胀节6两端的上、下法兰5、7。所述的上法兰5为圆周面上带有环形槽的结构,与籽晶轴3连接的端面为与其配合的结构。所述的调节支座包括支座4和调节螺钉8,所述支座4位于籽晶轴3侧面称重传感器2和膨胀节组件的下法兰7之间,调节螺钉8安装在下法兰7上。
本发明在工作时,样品9连接到籽晶轴3的末端,通过调接连接在下法兰7上的若干调节螺钉8来调节支座4,使称重传感器2与籽晶轴3垂直,调节的变形量完全由膨胀节组件吸收,这时称重传感器可精确测量样品重量。
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