[发明专利]一种利用莫尔条纹调整全息光栅曝光光路中准直光的方法无效
| 申请号： | 201010599714.0 | 申请日： | 2011-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN102103269A | 公开（公告）日： | 2011-06-22 |
| 发明（设计）人： | 孔鹏;李文昊;巴音贺希格;唐玉国;齐向东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B27/30 | 分类号： | G02B27/30;G02B27/60;G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 刘树清 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 莫尔 条纹 调整 全息 光栅 曝光 光路中准直光 方法 | ||
1.一种利用莫尔条纹调整全息光栅曝光光路中准直光的方法，其特征在于：步骤一，配备一套激光扩束准直装置，包括光源激光器(1)、第一平面反射镜(2)、第二平面反射镜(3)、空间滤波器(4)、准直镜(5)；光源激光器(1)发出的激光束经第一平面反射镜(2)和第二平面反射镜(3)反射到达空间滤波器(4)，激光束经过空间滤波器(4)后成为发散的球面光波，球面光波的中心光线与准直镜(5)的光轴重合，球面光波经准直镜(5)透射成为准直光束；步骤二，将第三平面反射镜(6)和平面光栅(7)置入激光扩束准直装置中的准直光束区域内，使第三平面反射镜(6)和平面光栅(7)垂直从而组成洛艾镜干涉装置，使准直光束的一部分直接照射在平面光栅(7)上，准直光束的另一部分经第三平面反射镜(6)反射后照射在平面光栅(7)上，准直光束的两部分相交叠的空间区域形成干涉场(8)；步骤三，使由第三平面反射镜(6)和平面光栅(7)组成的洛艾镜干涉装置在水平面内旋转，通过改变第三平面反射镜(6)与准直光束的夹角θ从而改变干涉条纹周期，根据莫尔条纹的形成原理，当干涉条纹的周期与平面光栅(7)的光栅常数相等时就能够在平面光栅(7)表面观察到莫尔条纹，若此时莫尔条纹不是直线形条纹则说明准直光束的准直度不好；步骤四，调整准直镜(5)与空间滤波器(4)之间的距离，同时观察平面光栅(7)表面的莫尔条纹的变化，当莫尔条纹变为直线形条纹时则说明此时干涉条纹的线性度很好，即准直光束的波前为平面波前，至此全息光栅曝光光路中所使用的准直光束的准直度调整完毕。
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