[发明专利]溅镀装置

权利要求书

1.一种溅镀装置，其包括一个中空的本体及容置于所述本体内的一个承载装置、一个驱动装置，所述本体包括相对的一个顶板及一个底板，所述承载装置包括一个圆环料架、一个圆环基座及多个料杆，所述圆环料架设置在所述顶板上，所述圆环基座转动设置于所述底板上，且与所述圆环料架同轴设置，所述多个料杆沿所述圆环基座的轴向设置，沿所述圆环基座的圆周方向排布，并连接所述圆环料架及所述圆环基座，所述驱动装置与所述圆环基座及所述料杆连接，用于驱动所述圆环基座及所述料杆沿其自身的中心轴旋转，所述圆环料架由至少一个可挠性的组装板连接而成。

2.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，所述至少一个组装板由导电材料制成。

3.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，所述组装板包括一个第一端面、一个第二端面及一个连接面，所述连接面连接所述第一端面及所述第二端面，当所述组装板未弯折时，所述第一端面与所述第二端面相背设置，所述连接面面向所述圆环基座，且所述连接面上沿所述组装板的延伸方向开设一个滑槽，所述多个滑槽形成一个圆环滑槽。

4.如权利要求3所述的溅镀装置，其特征在于，所述圆环基座包括一个面向所述圆环料架的承载面，所述承载面上沿所述圆环基座的圆周方向开设有多个通孔，所述多个通孔围成一个圆环，且所述多个通孔形成的圆环与所述多个滑槽形成的圆环同轴设置，且半径相等。

5.如权利要求4所述的溅镀装置，其特征在于，每个料杆包括相对的一个第一连接端及一个第二连接端，所述第一连接端插入所述通孔内，所述第二连接端容置于所述滑槽内。

6.如权利要求5所述的溅镀装置，其特征在于，所述料杆靠近所述第一连接端的位置设置一个圆环状的凸缘，所述凸缘沿所述料杆的直径方向延伸，且所述凸缘的半径大于所述通孔的半径，使得所述料杆卡设在所述圆环基座的承载面，且所述第一连接端穿过所述通孔，从所述承载面露出。

7.如权利要求6所述的溅镀装置，其特征在于，所述驱动装置包括一个马达、一个转轴及第一驱动齿轮，所述圆环基座还包括一个与所述承载面相垂直的外圆周面，所述外圆周面上设置有一圈连续排布的齿牙，所述第一驱动齿轮套设固定在所述转轴上，且与所述齿牙相啮合，所述马达驱动所述转轴转动。

8.如权利要求7所述的溅镀装置，其特征在于，所述驱动装置还包括多个从动齿轮，相邻的两个从动齿轮相啮合。

9.如权利要求7所述的溅镀装置，其特征在于，所述驱动装置还包括多个从动齿轮及多个中间齿轮，相邻的两个从动齿轮间设置一个中间齿轮，所述中间齿轮分别与所述相邻的两个从动齿轮相啮合。

10.如权利要求8或9所述的溅镀装置，其特征在于，所述驱动装置还包括一个第二驱动齿轮，所述第二驱动齿轮套设在所述转轴上，且与其中一个从动齿轮相啮合。