[发明专利]溅镀装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种真空镀膜技术领域，尤其涉及一种溅镀装置。

背景技术

溅镀装置一般包括一个圆环料架、一个圆环基座及多个料杆。所述圆环料架与所述圆环基座同轴设置。多个料杆沿圆环基座的轴向设置，沿圆环基座的圆周方向排布，并连接圆环料架及圆环基座。镀膜时，靶材离子从料杆的外部射向料杆而附着于待镀工件的表面。然而，圆环料架通常不能在不同的镀膜机中使用。具体的，圆环料架的尺寸可能大于某些型号的镀膜机的尺寸，导致圆环料架无法收容于镀膜机内。为此，厂商需根据不同的镀膜机的尺寸，开模生产对应尺寸的料架，导致成本增加。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种有效降低生产成本的溅镀装置。

一种溅镀装置，其包括一个中空的本体及容置于所述本体内的一个承载装置、一个驱动装置。所述本体包括相对的一个顶板及一个底板。所述承载装置包括一个圆环料架、一个圆环基座及多个料杆。所述圆环料架固定在所述顶板上，且由至少一个可挠性的组装板连接而成。所述圆环基座转动设置于所述底板上，且与所述圆环料架同轴设置。所述多个料杆沿所述圆环基座的轴向设置，沿所述圆环基座的圆周方向排布，并连接所述圆环料架及所述圆环基座。所述驱动装置与所述圆环基座及所述料杆连接，用于驱动所述圆环基座及所述料杆绕其自身的中心轴旋转。

本发明的溅镀装置，所述圆环料架由多个可挠性的组装板连接而成，因此厂商可根据需求组装成各种尺寸的圆环料架，以适应不同镀膜机的尺寸，减少了开模的费用，从而降低生产成本。

附图说明

图1是本发明较佳实施方式提供的溅镀装置的示意图；

图2是图1所示的溅镀装置的承载装置的立体示意图；

图3是图1所示的溅镀装置的组装板被弯折定型后的示意图；

图4是图1所示的溅镀装置的承载装置及驱动装置的俯视图。

主要元件符号说明

溅镀装置                100

本体                    10

镀膜腔                  11

顶板                    101

底板                    102

侧壁                    103

靶材                    20

承载装置                50

圆环料架                51

组装板                  53

第一端面                531

第一容置孔              531a

第一凸柱                531b

第二端面                532

第二容置孔              532a

第二凸柱                532b

连接面                  533

滑槽                    534

圆环基座                55

承载面                  551

通孔                    551a

底面                    552

外圆周面                553

齿霄                    553a

料杆                    56

第一连接端              561

凸缘                    561a

第二连接端              562

驱动装置                60

从动齿轮                61

中间齿轮                62

马达                    63

转轴                    64

第一驱动齿轮            65

第二驱动齿轮            66

具体实施方式

下面将结合附图，对本发明作进一步的详细说明。