[实用新型]一种龙门式硅片转移机构

权利要求书

1.一种龙门式硅片转移机构，其特征在于包括机架(1)以及安装在机架(1)上的输送台、升降装置和移动吸盘装置，机架(1)上固定有台面板(2)，台面板(2)上安装有龙门架(26)；输送台安装在台面板(2)上，输送台包括左输送装置和右输送装置，左输送装置和右输送装置分别用于运输并定位硅片盒(16)和石英框(27)；升降装置安装在龙门架(26)上，升降装置上设有升降座(22)，移动吸盘装置安装在升降座(22)上，升降装置用于带动移动吸盘装置上下升降；移动吸盘装置上设有片式吸盘(18)，移动吸盘装置可以控制片式吸盘(18)左右横向移动，片式吸盘(18)用于吸取硅片盒(16)内的硅片(17)并将吸取的硅片(17)转移至石英框(27)内。

2.如权利要求1所述的龙门式硅片转移机构，其特征还在于，所述输送台中的左输送装置和右输送装置结构相同，分别包括有输送伺服电机(3)、电机固定板(4)、主动带轮(5)、同步带(7)、从动带轮(8)、传动轴(10)、第一轴承(11)、支撑板(12)、托板(13)、挡板(14)、传感器(15)和输送带(30)；电机固定板(4)固定在台面板(2)的两侧，输送伺服电机(3)固定安装在电机固定板(4)上，主动带轮(5)通过第一平键(6)连接在输送伺服电机(3)的输出轴上；在台面板(2)上表面的左部、中间和右部分别固定有三块相互平行的支撑板(12)，支撑板(12)的前后两端分别通过第一轴承(11)安装有前后两根相互平行的传动轴(10)，从动带轮(8)通过第二平键(9)连接在传动轴(10)的一端；主动带轮(5)和从动带轮(8)利用同步带(7)连接并同步传动；在前后两根传动轴(10)上套装有输送带(30)，传动轴(10)转动时带动输送带(30)运动；在左部、中间和右部的三块支撑板(12)上分别固定有托板(13)，在托板(13)上固定有挡板(14)，挡板(14)用于导正输送带(30)输送硅片盒(16)、石英框(27)的方向；在挡板(14)上安装有传感器(15)，传感器(15)用于感应硅片盒(16)、石英框(27)的位置。

3.如权利要求1所述的龙门式硅片转移机构，其特征还在于，所述升降装置包括有升降座(22)、支撑座(23)、垂向丝杆(25)、第三轴承(28)、垂向直线导轨(29)和升降伺服电机(31)，支撑座(23)固定在龙门架(26)上，垂向丝杆(25)通过第三轴承(28)竖直安装在支撑座(23)上，升降伺服电机(31)连接固定在支撑座(23)的顶端，升降伺服电机(31)的输出轴与垂向丝杆(25)相连接；升降座(22)通过螺纹装配在垂向丝杆(25)上，垂向丝杆(25)转动时带动升降座(22)上下升降；在支撑座(23)上还固定安装有竖直的垂向直线导轨(29)，升降座(22)与垂向直线导轨(29)相配合，通过垂向直线导轨(29)导正升降方向。

4.如权利要求1所述的龙门式硅片转移机构，其特征还在于，所述移动吸盘装置包括有片式吸盘(18)、第二轴承(19)、丝杆固定块(20)、横向丝杆(21)、横向直线导轨(24)和横向移行伺服电机(34)；丝杆固定块(20)分别安装在升降座(22)的左右两端，横向丝杆(21)通过第二轴承(19)安装在固定块(20)上，横向移行伺服电机(34)连接固定在丝杆固定块(20)上，横向移行伺服电机(34)的输出轴与横向丝杆(21)相连接；片式吸盘(18)通过螺纹装配在横向丝杆(21)上，横向丝杆(21)转动时带动片式吸盘(18)左右移动；在升降座(22)的底部还固定安装有横向直线导轨(24)，片式吸盘(18)与横向直线导轨(24)相配合，通过横向直线导轨(24)导正左右水平移动的方向。