[实用新型]等离子处理设备

权利要求书

1.等离子处理设备，包括具有腔体的壳体和位于该腔体内部的电极板，其特征在于：该设备还包括了可供导热流体在其内循环流动的温控系统，该温控系统包括了固定于所述电极板的温控管道、使所述导热流体在所述温控管道内循环流动的流体泵以及使所述导热流体保持在预设温度的流体温度调节器。

2.根据权利要求1所述的等离子处理设备，其特征在于：所述温控管道紧贴固定于所述电极板的底面。

3.根据权利要求2所述的等离子处理设备，其特征在于：所述温控管道通过紧固件固定于所述电极板的底面。

4.根据权利要求3所述的等离子处理设备，其特征在于：所述紧固件为管座和将所述管座连接于形成在所述电极板上的连接孔的螺丝或销钉。

5.根据权利要求1所述的等离子处理设备，其特征在于：所述导热流体为导热油或导热水。

6.根据权利要求1所述的等离子处理设备，其特征在于：所述温控管道为铝合金管道。

7.根据权利要求1所述的等离子处理设备，其特征在于：所述温控管道呈蛇形分布。

8.根据权利要求1所述的等离子处理设备，其特征在于：所述电极板包括了相互平行的多块正极板和多块负极板，其中所述正极板和负极板相间分布。

9.根据权利要求1至8任一项所述的等离子处理设备，其特征在于：所述温控系统还包括了进油管、出油管和回油管，所述回油管上设有温度传感器；所述温控管道的入口分别连接于所述进油管，所述温控管道的出口分别连接于所述出油管，所述出油管的出口通过所述回油管依次连接于所述油泵、流体温度调节器以及所述进油管的入口。

10.根据权利要求1至8任一项所述的等离子处理设备，其特征在于：所述温控系统还包括了进油管、出油管、回油管和油箱，所述回油管上设有温度传感器，所述流体温度调节器包括了加热器和冷却器，该冷却器连接于所述油箱；所述温控管道的入口分别连接于所述进油管，所述温控管道的出口分别连接于所述出油管，所述出油管的出口通过所述回油管依次连接于所述油箱、油泵、加热器以及所述进油管的入口。