[实用新型]等离子处理设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种等离子处理设备，尤其是涉及等离子处理设备内的温度控制系统。

背景技术

等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面活化、改性等场合。通过其处理，能够改善材料的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。在现有的等离子处理设备当中，其腔体内部的电极板温度容易发生变化，导致处理均匀性差，处理效果不理想。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的缺陷，提供一种处理均匀性好的等离子处理设备。

为解决上述技术问题，本实用新型采用了以下的技术方案：设计一种等离子处理设备，包括具有腔体的壳体、位于该腔体内部的电极板以及可供导热流体在其内循环流动的温控系统，该温控系统包括了固定于所述电极板的温控管道、使所述导热流体在所述温控管道内循环流动的流体泵以及使所述导热流体保持在预设温度的流体温度调节器。

与现有技术相比，本实用新型通过固定于电极板的温控管道使电极板的温度保持在基本恒定的状态，从而提高了等离子处理设备的处理均匀性，改善了处理效果。

优选地，所述温控管道紧贴固定于所述电极板的底面，导热性能更好。

优选地，所述温控管道通过紧固件固定于所述电极板的底面，可防止温控管道脱落。所述紧固件可以为管座和将所述管座连接于形成在所述电极板上的连接孔的螺丝或销钉。，优选地，所述导热流体可以为导热油或导热水。

优选地，所述温控管道采用铝合金材质，不但具有良好的导热性能，而且有很强的抗拉强度(≥205Mpa)，并具有很强的耐腐蚀性。

优选地，所述电极板包括了相互平行的多块正极板和多块负极板，其中所述正极板和负极板相间分布。

优选地，所述温控管道呈蛇形分布。

附图说明

图1是本实用新型等离子处理设备的实施例一的立体图。

图2是图1所示等离子处理设备的前视图。

图3是图1所示等离子处理设备的电极板及其温控系统部分的立体图。

图4是图3所示电极板及其温控系统部分的前视图。

图5是本实用新型等离子处理设备的实施例二的电极板及其温控系统部分的立体图。

图6是图5的A局部放大图。

图7是图5所示电极板及其温控系统部分的前视图。

图8是图5所示电极板及其温控系统部分的右视图。

图9是图5所示电极板及其温控系统部分的左视图。

具体实施方式

实施例一如图1至图4所示，本实用新型的等离子处理设备10包括具有腔体12的壳体11、位于该腔体12内部的相互平行的多块电极板8以及可供导热流体在其内循环流动的温控系统，所述电极板8包括了相间分布的正极板5和负极板6。

所述温控系统包括了油泵1、流体温度调节器18、进油管3、温控管道7、出油管4和回油管9，温控管道7通过粘接剂紧贴固定在每块正极板5和负极板6的底面，这样导热性能更好。每根温控管道7均呈蛇形分布，其采用铝合金材质，不但具有良好的导热性能，而且有很强的抗拉强度(≥205Mpa)，并具有很强的耐腐蚀性。其中，油泵1、流体温度调节器18、进油管3、温控管道7和出油管4依次首尾连接，温控管道7的入口分别连接于进油管3，温控管道7的出口分别连接于出油管4，出油管4通过回油管9连接于油泵1，从而形成循环系统，以供导热油在其内循环流动。回油管9处设有温度传感器，以实时感测循环系统内的导热油的温度。

油泵1可使循环系统内的导热油循环流动，流体温度调节器18可使循环系统内的导热油加热或冷却到预设温度并一直保持这种温度。导热油经过流体温度调节器18加热或冷却到预设温度后，由进油管3的入口进入进油管3，然后分别流经各温控管道7，再分别汇入出油管4，最后在油泵1的作用下由回油管9流回油泵1和流体温度调节器18，如此循环。上述温控系统可以通过单片机或PLC控制器等控制单元来进行控制：当导热油的实际温度超过设定温度时，温度传感器会将信号传给控制单元，控制单元会命令流体温度调节器18停止加热，并实施冷却。当实际温度低于设定温度时，温度传感器会将信号传给控制单元，控制单元会命令加热器继续加热，直至达到设定温度。