[实用新型]用于电子背散射衍射测量的多功能样品台

说明书

技术领域

本实用新型涉及材料研究领域进行电子背散射衍射实验所用的装置，特别是一种在扫描电镜上用于进行电子背散射衍射(以下简称EBSD)测量的多功能样品台。

背景技术

目前，在对钢铁材料的电子显微镜分析与研究中，越来越多地运用到了EBSD技术。根据电子背散射衍射理论，在扫描电镜中进行EBSD测量时，样品法向必须与入射电子束成70°的角度，所以就要求扫描电镜样品台须进行高角度倾斜，同时还要保证样品不会在样品台上产生滑移。这样直接用扫描电镜样品台进行EBSD测量时，样品在样品台上的固定和样品台的倾转造成了EBSD测量前期准备的极大不便。同时如果样品固定不牢固，还会造成测量时图像的漂移，从而影响测量的精确性。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种结构简单、使用方便、测量精度较高的用于EBSD测量的多功能样品台。

本实用新型的目的由以下技术方案来实现：

该样品台由倾斜样品台面、支撑柱和调节固定螺丝三部分组成。倾斜样品台面与水平线夹角为70°(等同于扫描电镜样品台倾斜了70°，即与支撑柱之间的夹角为20°)。倾斜样品台面两侧设置有固定样品的夹具。支撑柱的下部插在放置扫描电镜台面的通孔中，通孔侧壁开有螺孔，孔内设有调节固定螺丝。支撑柱的上端与倾斜样品台面相接。

上述固定样品的夹具与被测样品的形状和尺寸相适配。

实用新型的有益效果：

本实用新型的结构简单，使用方便，它使EBSD观察时样品的放置更加牢固，操作方便安全，从而使测量更加精确。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细描述，但该实施例不应理解为对本实用新型的限制。

参阅图1，该样品台由倾斜样品台面1、支撑柱2和调节固定螺丝3三部分组成。倾斜样品台面1与水平线夹角为70°，等同于扫描电镜样品台面5倾斜了70°(即与支撑柱2之间的夹角为20°)。倾斜样品台面1两侧设置有固定样品6的夹具4，固定样品的夹具4可以上下活动和替换，以利于固定不同形状(如方形和圆形)和尺寸的样品6。支撑柱2的下部插在放置扫描电镜台面5的通孔中，通孔侧壁开有螺孔，孔内设有调节固定螺丝3，样品台的高度可以通过调节固定螺丝3来调节和固定。支撑柱2的上端与倾斜样品台面1相接。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也应该包含这些改动和变型在内。

本说明书中若有未作详细描述的内容，应为本领域的专业技术人员公知或应知的技术，此处不再赘述。