[实用新型]锗区熔提纯设备

权利要求书

1.锗区熔提纯设备，包括相互连接的固态高频设备和加热提纯设备，以及用于控制的PLC控制器，其特征在于所述的加热提纯设备由进气装置、数个工作工位以及高频区栅栏（1）组成，工作工位与进气装置连接后放置在高频区栅栏（1）上；工作工位包括石英管（9）、加热线圈（8）、石墨舟（10）与传动装置（2），石英管（9）两端固定在高频区栅栏（1）的工作台（3）上；加热线圈（8）与固态高频设备连接，套在石英管（9）上；石墨舟（10）嵌在石英管（9）内；传动装置（2）与加热线圈（8）连接，带动加热线圈（8）沿石英管（9）移动。

2.如权利要求1所述的锗区熔提纯设备，其特征在于所述的工作工位为十三个，分成上、下两排放置，石英管（9）管口用胶塞（5）封闭。

3.如权利要求1所述的锗区熔提纯设备，其特征在于所述的进气装置包括气体分配器（7）、气体流量计（6）以及进气管，进气管穿过胶塞（5）固定在石英管（9）管口；气体流量计（6）安装在进气管上；气体分配器（7）与进气管连接。