[实用新型]支架自动传送装置及支架自动装载系统有效
申请号: | 201020633455.4 | 申请日: | 2010-11-30 |
公开(公告)号: | CN201910413U | 公开(公告)日: | 2011-07-27 |
发明(设计)人: | 李伟;蒋超;叶江涛;高云峰 | 申请(专利权)人: | 深圳市大族光电设备有限公司;深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67;H01L21/50 |
代理公司: | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人: | 张全文 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 支架 自动 传送 装置 装载 系统 | ||
1.一种支架自动传送装置,其特征在于,包括:
一提供驱动力的步进电机;以及
与所述步进电机相连接设置的推料机构,其上设有用于推动支架的一推料件;以及
与所述推料机构配合设置的导向机构,其上设有用于引导支架行进的导轨。
2.根根据权利要求1所述的支架自动传送装置,其特征在于,所述导向机构包括轨道座,所述导轨包括设于所述轨道座长度方向上的固定轨道、第一调节轨道和第二调节轨道,所述第一调节轨道和第二调节轨道处于一直线上并与所述固定轨道相平行。
3.根据权利要求1述的支架自动传送装置,其特征在于,所述推料件为一推料板,所述推料机构还包括设于所述轨道座上的直线导轨、与所述直线导轨相靠设置的推料驱动块、与所述步进电机相连的主动同步带轮、设于所述轨道座上的从动同步带轮、连接所述主动同步带轮和所述从动同步带轮的同步皮带,所述推料驱动块设于所述同步皮带上,所述推料板连接于所述推料驱动块上。
4.根据权利要求2所述的支架自动传送装置,其特征在于,所述第二调节轨道上方和与所述第二调节轨道相对应的一段固定轨道上方还设有轨道盖板。
5.根据权利要求2所述的支架自动传送装置,其特征在于,在所述导向机构中的直线导轨的两端部设有缓冲块。
6.根据权利要求2所述的支架自动传送装置,其特征在于,在所述轨道座上靠固定轨道的外侧设有一光纤传感器。
7.根据权利要求3所述的支架自动传送装置,其特征在于,导向机构中的轨道座靠所述第一调节轨道和第二调节轨道的一侧设有一复位传感器和一极限传感器,在所述推料驱动块上设有一可被所述复位传感器和所述极限传感器感应到的旗杆。
8.根根据权利要求3所述的支架自动传送装置,其特征在于,在所述推进机构的主动带轮所在一端还设有一保护盖。
9.一种支架自动装载系统,包括:
用于提供支架的供给装置;及
位于所述供给装置上方、并可以从所述供给装置抓取支架的抓取装置;及
位于所述供给装置和所述抓取装置之间、并可将所述抓取装置送来的支架传送到支架装载料盒的传送装置;其特征在于,
所述传送装置为权利要求1~8任一项所述的支架自动传送装置;
所述抓取装置设有一可以从所述供给装置上抓取支架并将该支架传递到所述支架自动传送装置导轨的吸爪。
10.根据权利要求9所述的支架自动装载系统,其特征在于,其上还设有一用于装载过程完成或者料盒没有支架或者系统发生故障而发出提示的报警器。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造