[发明专利]一种用于容积式泵的粗抽方法无效

专利信息
申请号: 201080017193.1 申请日: 2010-04-16
公开(公告)号: CN102395792A 公开(公告)日: 2012-03-28
发明(设计)人: 彼得·比尔克 申请(专利权)人: 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司
主分类号: F04C18/12 分类号: F04C18/12;F04C28/08
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 吴焕芳;田军锋
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 容积 方法
【权利要求书】:

1.一种用于容积式泵(10)的粗抽方法,用来在所述容积式泵(10)的入口(18)与出口(20)之间产生最大压差(ΔPmax),所述容积式泵(10)的转速(Ω)被调节为适于要产生的所述最大压差(ΔPmax),以使所述容积式泵(10)的功率输入(3、4)接近物理上用于压缩气体以便建立所述最大压差(ΔPmax)所需的最小功率(2)。

2.根据权利要求1所述的粗抽方法,其特征在于,利用关系式设定用于达到所述最大压差(ΔPmax)的所述转速(Ω),

其中

VS是所述容积式泵的压缩机排量,

CI是所述泵内的回漏体积流量,

Pout是所述容积式泵的出口压力,

Pin,min是要产生的所述容积式泵的最小入口压力,ΔPmax=Pout-Pin,min,以及

Ωmax是所述容积式泵的最大转速,Ω<Ωmax

3.根据权利要求1或2所述的粗抽方法,其特征在于,在高于限制转速(Ωv/f)时,随着所述压差以及泵转速的增加,泵驱动器(12)的扭矩(T)持续地减小,其中0≤Ωv/f≤30Hz。

4.根据权利要求1至3中一项所述的粗抽方法,其特征在于,在所述容积式泵的最大可能的转速(Ωmax)处,所述容积式泵的所述出口压力(Pout)与入口压力(Pin)的比大于3,并且特别地,小于10。

5.根据权利要求1至4中一项所述的粗抽方法,其特征在于,要产生的压差(ΔPmax)的大小在低于1000毫巴的范围内。

6.根据权利要求5所述的粗抽方法,其特征在于,所述要产生的压差(ΔPmax)在低于500毫巴的范围内,并且特别地,在从200至400毫巴的范围内。

7.根据权利要求1至6中一项所述的粗抽方法,其特征在于,通过在用作为所述泵驱动器的电动机中使用电子换流器而降低所述转速(Ω)。

8.根据权利要求7所述的粗抽方法,其特征在于,所述电动机是感应电动机、磁阻电动机或无刷直流电动机。

9.根据权利要求1至8中一项所述的粗抽方法,其特征在于,所述容积式泵是罗茨泵,爪式螺杆泵或干式运行旋转叶片泵。

10.根据权利要求1至9中一项所述的粗抽方法,其特征在于,所述容积式泵是多级容积式泵,其包括至少两个泵送级。

11.一种用于在容积式泵(10)的入口(18)与出口(20)之间建立粗压差(ΔPmax)的容积式泵装置(16),所述容积式泵装置(16)包括泵驱动器(12),所述泵驱动器(12)用于将所述容积式泵的转速(Ω)调节为适于要产生的最大压差(ΔPmax)以使所述泵(10)的功率输入(3、4)接近物理上用于压缩气体以便建立所述最大压差(ΔPmax)所需的的最小功率(2)。

12.根据权利要求11所述的容积式泵装置(16),其特征在于,所述控制装置(14)包括用于要产生的压差(ΔPmax)的存储器。

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