[发明专利]确定重叠误差的方法

权利要求书

1.一种测量衬底上的重叠误差的方法，所述衬底包括多组叠印图案，每组叠印图案包括顶部图案和底部图案，其中顶部图案和底部图案是周期性的，并且每组叠印图案在顶部图案和底部图案之间具有不同的偏置，使得对应的顶部图案和底部图案之间的总的偏移量等于重叠误差和所述偏置之和，所述方法包括：

(a)检测多个偏置中的每一个偏置的衍射图案，所述衍射图案包括第一级或更高级；

(b)从第一级或更高级确定对应于叠印图案组中的每一组叠印图案的不对称度；

(c)基于所述多个偏置的不对称度组计算重叠误差，其中所述计算包括对叠印图案组中的每一组叠印图案的不对称度建立模型、作为总的偏移量的函数，其中所述总的偏移量是至少两个不同的振荡基函数的加权和，所述基函数相对于顶部图案和底部图案之间的总偏移量具有不对称度并且具有等于周期图案的节距的周期。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述至少两个不同的振荡基函数包括具有等于周期图案的节距的周期的第一谐波和具有等于周期图案的节距的一半的周期的第二谐波。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述不同振荡基函数组包括一组不同谐波级的正弦函数，所述加权和的权重表示相应的谐波级的重要性。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，确定步骤包括：在至少三个不同的偏置的条件下确定不对称度。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，计算步骤包括：使用最小均方方法确定所述至少两个不同振荡基函数的权重。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，确定步骤包括：在至少下列偏置的条件下确定不对称度：+d、-d、+d+T/2以及-d+T/2，其中T是图案的周期。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，确定步骤包括：在±d和±d+T/2的条件下使用不对称度之间的差值计算第一振荡基函数的权重。

8.根据权利要求6或7所述的方法，其中，确定步骤包括：在±d和±d+T/2的条件下使用不对称度的和计算第二振荡基函数的权重。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，检测多个像素中的每一个像素的不对称度。

10.根据权利要求1确定重叠误差的方法，其中，所述叠印图案组中的至少一组叠印图案远离所述叠印图案组中的其余组叠印图案并且具有不必与所述叠印图案组中的其余组叠印图案相同的重叠误差。

11.一种确定衬底上重叠误差的方法，所述衬底具有多组叠印图案，所述方法包括：

(a)检测包括第一级或更高级的衍射图案、以测量在多个位置中的每一个位置处的多个不对称度，每个位置对应一场；

(b)将所述不对称度模型化为至少两个不同的不对称振荡基函数的加权和并且对于所述多个位置中的每一个位置确定至少两个不同的不对称振荡基函数中的每一个的权重；

(c)检测包括第一级或更高级的衍射图案、以测量与所述多个位置不同的检测位置处的不对称度；

(d)通过在针对多个场位置确定的第一振荡基函数的权重之间进行内插，确定对应检测位置的第一振荡基函数的权重；

(e)通过在针对多个场位置确定的第二振荡基函数的权重之间进行内插，确定对应检测位置的第二振荡基函数的权重；和

(f)计算检测位置处的重叠误差。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，每个位置包括多组叠印图案。

13.一种器件制造方法，包括：

使用光刻设备在衬底上形成图案；和

通过根据权利要求11所述的方法确定图案的重叠误差。