[发明专利]角速度传感器

权利要求书

1.一种角速度传感器，其包括：

振动体；

第一感知电极，其被设置在所述振动体中，根据施加在所述振动体上的角速度来产生电荷；

第二感知电极，其被设置在所述振动体中，根据所述角速度来产生电荷；

驱动电路，其使所述振动体以规定的驱动频率振动；

第一DA变换部，其输出至少2个电平量的电荷；

第二DA变换部，其输出至少2个电平量的电荷；

第一积分电路，其对所述第一感知电极中产生的所述电荷与从所述第一DA变换部输出的电荷进行积分；

第二积分电路，其对所述第二感知电极中产生的所述电荷与从所述第二DA变换部输出的电荷进行积分；

比较部，其对来自所述第一积分电路的输出信号与来自所述第二积分电路的输出信号进行比较；

第一DA切换部，其基于所述比较部的比较结果，对来自所述第一DA变换部的输出信号的电平进行切换；

第二DA切换部，其基于所述比较部的比较结果，对来自所述第二DA变换部的输出信号的电平进行切换；

第一断线检测开关，其被连接在所述第一感知电极与所述第一积分电路之间；

第一电压源，其经由所述第一断线检测开关，向所述第一感知电极与所述第一积分电路之间注入电荷；

第二断线检测开关，其被连接在所述第二感知电极与所述第二积分电路之间；以及

第二电压源，其经由所述第二断线检测开关，向所述第二感知电极与所述第二积分电路之间注入电荷。

2.根据权利要求1所述的角速度传感器，其中，

由所述第一电压源注入的所述与从所述第二电压源注入的所述电荷极性相反且绝对值大致相等。

3.根据权利要求1所述的角速度传感器，其中，

所述第一感知电极中产生的所述电荷与从所述第一电压源注入的所述电荷之和的绝对值比从所述第一DA变换部注入的所述电荷的绝对值小，

所述第二感知电极中产生的所述电荷与从所述第二电压源注入的所述电荷之和的绝对值比从所述第二DA变换部注入的所述电荷的绝对值小。

4.一种角速度传感器，其包括：

振动体；

第一感知电极，其被设置在所述振动体中，根据施加在所述振动体上的角速度来产生电荷，且产生第一无用信号；

第二感知电极，其被设置在所述振动体中，根据所述角速度来产生电荷且产生第二无用信号；

驱动电路，其使所述振动体以规定的驱动频率振动；

处理电路，其对从所述第一感知电极及所述第二感知电极输出的信号进行检波；以及

消除信号输出电路，其按照以下方式工作，即：向所述第一感知电极与所述处理电路之间注入极性与所述第一无用信号相反且电荷量相等的第一消除信号，向所述第二感知电极与所述处理电路之间注入极性与所述第二无用信号相反且电荷量相等的第二消除信号。

5.根据权利要求4所述的角速度传感器，其中，

所述消除信号输出电路由输出具有所述振动体的驱动频率的正弦波信号的DA变换电路构成。

6.根据权利要求4所述的角速度传感器，其中，

所述消除信号输出电路由输出具有所述振动体的驱动频率的方波信号的DA变换电路构成。

7.根据权利要求6所述的角速度传感器，其中，

所述消除信号输出电路通过调整所述方波信号的时间轴方向来调整所输出的电荷量的总和。

8.根据权利要求6所述的角速度传感器，其中，

所述方波信号的宽度为所述第一与第二无用信号的一半周期的约64％，通过调整所述方波信号的振幅来调整所输出的电荷量的总和。