[发明专利]压电/电致伸缩膜型元件的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及压电/电致伸缩膜型元件的制造方法，所述压电/电致伸缩膜型元件具有：形成空腔的基板、和在该基板的第一主面上与该空腔平面位置相对应而设置的将电极膜和压电/电致伸缩体膜进行层叠的振动层叠体。

背景技术

图58的截面图是说明压电/电致伸缩膜型元件9的现有制造方法的模式图，所述元件构成在喷墨打印机的机头中所使用的用于喷出油墨的压电/电致伸缩执行器的主要部分。

在现有的制造方法中，如图58(a)所示，在形成有作为油墨加压室的空腔926的基板902的表面上，丝网印刷导电材料的糊，将得到的涂布膜进行烧成，形成下部电极膜912。其后，如图58(b)所示，在下部电极膜912上丝网印刷压电/电致伸缩材料的糊，将得到的涂布膜进行烧成，形成压电/电致伸缩体膜914。进而在其后，如图58(c)所示，在压电/电致伸缩体膜914上丝网印刷导电材料的糊，将得到的涂布膜进行烧成，形成上部电极膜916。

在专利文献1中，公开了喷墨打印机的机头所使用的用于喷出油墨的压电/电致伸缩执行器的制造方法。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第3999044号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，现有的制造方法中存在如下问题：基于形成下部电极膜后进行的烧成，导致下部电极膜中孔隙增加，下部电极膜的被覆率低下。该问题，在为了增加弯曲位移的位移量而使下部电极膜的膜厚变薄时特别显著。

另外，在现有的制造方法中，由于基板、丝网版的尺寸的偏差、变形，下部电极膜的平面位置与空腔的平面位置偏离，存在使压电/电致伸缩执行器的油墨的吐出量产生偏差这样的问题。

这些问题，不仅存在于构成压电/电致伸缩执行器的主要部分的压电/电致伸缩膜型元件，也同样存在于压电/电致伸缩膜型元件中，所述压电/电致伸缩膜型元件具有形成空腔的基板和在该基板的表面上与该空腔平面位置相对应而设置的将电极膜和压电/电致伸缩体膜进行层叠的振动层叠体，例如，具有隔膜结构的压电薄膜共振子(FBAR：Film Bulk Acoustic Resonator(薄膜体声波谐振器))等。

本发明为了解决这些问题而进行，目的在于提供一种压电/电致伸缩膜型元件的制造方法，所述方法在增加最下层的电极膜的被覆率的同时，可防止空腔的平面位置与最下层的电极膜的平面位置的偏离。

解决课题的方法

以下表示解决上述课题的方法。

第一发明为，一种压电/电致伸缩膜型元件的制造方法，所述压电/电致伸缩膜型元件具有：形成有空腔的基板、和在上述基板的第一主面上与上述空腔平面位置相对应而设置的将电极膜和压电/电致伸缩体膜进行层叠的振动层叠体；所述方法具有：(a)制作上述基板的工序；(b)在上述基板的第一主面上形成第一光致抗蚀剂膜的工序；(c)由上述基板的第二主面的一侧照射光，将转印有上述空腔的平面形状的潜像描画于上述第一光致抗蚀剂膜的工序；(d)通过显影除去在形成有上述空腔的区域所形成的上述第一光致抗蚀剂膜，形成第一光致抗蚀剂膜的图案的工序；(e)重叠于上述第一光致抗蚀剂膜的图案并在上述基板的第一主面上形成含有催化剂金属树脂酸盐的树脂酸盐膜的工序；(f)除去上述第一光致抗蚀剂膜的图案及在形成有上述第一光致抗蚀剂膜图案的区域上所形成的上述树脂酸盐膜，形成树脂酸盐膜的图案的工序；(g)将上述树脂酸盐膜的图案进行烧成，形成分布有催化剂金属的核的催化剂层的图案的工序；(h)在上述催化剂层的图案上将镀敷膜进行无电解镀敷，形成构成上述振动层叠体的最下层的电极膜的工序；(i)形成构成上述振动层叠体的电极膜和压电/电致伸缩体膜中的除了上述最下层电极膜以外的膜的工序。

第二发明为，在第一发明的压电/电致伸缩膜型元件的制造方法中，上述工序(a)是制作通过板厚为30μm以下的板将上述空腔与第一主面的一侧隔开的上述基板。

第三发明为，在第一或第二发明的压电/电致伸缩膜型元件的制造方法中，进一步具有(j)在上述工序(c)之前，向上述空腔填充遮光剂的工序；上述工序(c)是将在未形成上述空腔的区域所形成的上述第一光致抗蚀剂膜进行选择性曝光；上述工序(d)是除去上述第一光致抗蚀剂膜的未曝光部分。

第四发明为，在第三发明的压电/电致伸缩膜型元件的制造方法中，上述工序(j)是填充含有颜料的上述遮光剂。