[发明专利]使用干涉法的用于二维光程分布的绝对测量的装置

权利要求书

1.一种用于二维光程分布的绝对测量的装置，包括：

光源，用于以具有多个波长的光照明物体；

干涉仪，用于形成物体的至少一部分的图像，该图像包括宽带干涉图；

高光谱成像器，与干涉仪光学连接，用于将宽带干涉图光谱地分成多个窄带二维干涉图；

寄存器，用于空间地记录窄带干涉图；

提取器，用于从每个窄带干涉图中相应的像素中提取一维光强信号；以及

计算器，用于针对对象上的每一点，根据与该点关联的一维光强信号计算出频率。

2.根据权利要求1的装置，其中光源包括与频率调制器操作地连接的窄带光源。

3.根据权利要求1的装置，其中光源包括光频梳源。

4.根据权利要求1或2的装置，其中高光谱成像器进一步地包括标准器。

5.根据前述任一权利要求的装置，其中高光谱成像器包括设置在干涉仪下游的色散元件。

6.根据权利要求1-4之一的装置，其中高光谱成像器包括设置在干涉仪下游的已写入多个布拉格光栅的反射型立体全息图。

7.根据前述任一权利要求的装置，进一步地包括与高光谱成像器可操作地连接的数据处理器。

8.根据前述任一权利要求的装置，其中高光谱成像器包括光电探测器阵列。

9.根据前述任一权利要求的装置，包括用于照明物体的多个光源。

10.根据权利要求9的装置，其中多个宽带光源生成的光的带宽彼此之间光谱地隔开。

11.一种用于二维光程分布的绝对测量的方法，包括下述步骤：

通过将光透过干涉仪，以具有多个波长的光照明物体以生成物体的宽带干涉图；

光谱地分隔宽带干涉图，以形成多个二维窄带干涉图；

空间地记录二维干涉图；

从每个窄带干涉图中相应的像素中提取一维光强信号；以及

针对对象上的每一点、根据与该点关联的一维光强信号计算出频率。

12.根据权利要求11的方法，其中以宽带光照明物体的步骤包括以高频率调制窄带光的步骤，以产生合成的、或表观的宽带光源。

13.根据权利要求11或12的方法，其中空间地记录二维干涉图的步骤包括在所有窄带干涉图中辨识样本上共同点的像素位置的步骤。

14.根据权利要求11-13之一的方法，其中空间地记录二维干涉图的步骤包括形成二维窄带干涉图的三维光强分布的步骤。

15.根据权利要求14的方法，其中形成二维窄带干涉图的三维光强分布的步骤包括根据干涉图的x和y坐标记录单个窄带干涉图，沿着k轴堆叠记录的干涉图以形成样本高光谱立体图像的步骤，其中k轴表示每一干涉图的波数。

16.根据权利要求11-15之一的方法，其中从每一干涉图中相应的像素中提取一维光强信号的步骤包括通过一维傅立叶变换，测量沿着k轴穿过空间记录的干涉图的频率。

17.根据权利要求13-15之一的方法，其中以具有多个波长的光照明物体的步骤包括以来自多个光源的宽带光照明物体以产生宽带光的多个带宽，其中每一带宽与其它带宽之间光谱地隔开。

18.一种装置，如本说明书上文参考附图所描述的。

19.一种方法，如本说明书上文参考附图所描述的。