[发明专利]等离子体发生装置和等离子体发生装置的用途

权利要求书

1.一种等离子体发生装置，包括：

第一电极；

位于所述第一电极前面的第二电极结构；

置于所述第一电极和所述第二电极结构之间的绝缘层，

其中所述第二电极结构具有多个第二电极部分，限定其间的缺口部分，所述缺口部分的宽度为w，所述第二电极部分各自具有前表面并且所述缺口部分各自具有前表面，每个第二电极部分的所述前表面与所述相邻缺口部分的前表面之间的高度差为h，并且其中h为至多1mm以及w/h的比例为至少1。

2.根据权利要求1所述的装置，其中h是至多0.3mm。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的装置，其中所述缺口部分包括介电材料。

4.根据前述权利要求中的任何一项所述的装置，其中w是所述第一电极和所述第二电极之间的间隔距离的0.2到2倍。

5.根据前述权利要求中的任何一项所述的装置，其中所述第二电极部分一起形成基本辐射状和/或基本螺旋状的图案。

6.根据前述权利要求中的任何一项所述的装置，其中每一个第二电极部分包括具有叠覆绝缘层的导电元件，以便使所述第二电极部分的前表面是绝缘表面。

7.根据权利要求6所述的装置，其中叠覆在所述导电元件上的绝缘层延伸到邻近所述第二电极部分的缺口部分里，以便使所述第二电极部分的前表面和所述缺口部分的前表面彼此相连。

8.根据权利要求1到5中的任何一项所述的装置，其中各个第二电极部分包括在所述第二电极部分的前表面暴露的导电元件。

9.根据前述权利要求中的任何一项所述的装置，其中所述第二电极结构接地。

10.根据前述权利要求中的任何一项所述的装置，其中所述第一电极连接至或可连接至信号产生源，以将交流电压信号施加于所述第一电极。

11.根据前述权利要求中的任何一项所述的装置，其中所述第一电极容纳在绝缘外壳内。

12.根据前述权利要求中的任何一项所述的装置适于处理包装，所述第二电极部分的前表面和所述缺口部分的前表面一起形成包装处理表面，其中当待处理的包装倚靠在所述包装处理表面时，所述装置是可操作的以产生等离子体，所述等离子体基本上完全位于所述待处理的包装内部。

13.根据权利要求12所述的装置，其中所述包装处理表面和所述包装在使用中互相适应，以便限制所述包装处理表面和所述包装之间的间隙的尺寸。

14.根据权利要求13所述的装置，其中使用中至少所述包装的一部分覆盖在整个所述第二电极结构上，使得适应所述包装处理表面的所述包装的部分的面积尺寸大于所述第二电极结构。

15.根据权利要求13或权利要求14所述的装置，进一步具有可操作按压所述包装和所述包装处理表面相向并且相互倚靠的促动装置。

16.根据权利要求15所述的装置，其中所述促动装置是通过与所述包装处理表面流体联通的抽吸装置提供的。

17.根据权利要求16所述的装置，其中所述包装处理表面包括用于从所述包装和所述包装处理表面之间的间隙抽取空气的通道，所述通道可选地通过所述第二电极部分之间的缺口部分提供。

18.根据权利要求17所述的装置，其中所述通道以基本辐射状和/或基本螺旋状的图案设置在所述包装处理表面。

19.根据权利要求16到18中的任何一项所述的装置，进一步包括至少一个密封件，设置成使用时充分密封所述包装，可选地环绕所述包装处理表面的周长延伸。

20.根据权利要求13到15中的任何一项所述的装置，其中所述包装处理表面是柔性的以便其能够适应所述待处理的包装。

21.根据权利要求20所述的装置，其中所述包装处理表面是弹性的。

22.根据权利要求20或权利要求21所述的装置，其中至少在适应所述包装之前，所述包装处理表面是凸起的。

23.根据权利要求12到22中的任何一项所述的等离子体发生装置和至少一种待处理的包装的灭菌装置。