[发明专利]防散射X‑射线滤线栅器件及其制造方法有效
| 申请号： | 201110190671.5 | 申请日： | 2011-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN102389320B | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | J·J·肖;K·M·迪罗歇 | 申请（专利权）人： | 通用电气公司 |
| 主分类号： | A61B6/06 | 分类号： | A61B6/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 曲卫涛,朱海煜 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 散射 射线 滤线栅 器件 及其 制造 方法 | ||
1.一种制造防散射X-射线滤线栅器件(10)的方法，包括：
提供包含不吸收X-射线的第一材料(16)的衬底(14)，所述衬底(14)中具有多个通道(18)；
在所述多个通道(18)的侧壁(20)上施加(32)层，其中所述层包含不吸收X-射线的第二材料(34)；以及
在所述多个通道(18)的一部分中施加(44)吸收X-射线的第三材料(42)，从而定义多个X-射线吸收元件(12)；
其中，在最后形成的防散射X-射线滤线栅中，所述通道完全位于所述衬底中。
2.如权利要求1所述的方法，其中所述第二材料(34)是保形涂层。
3.如权利要求1所述的方法，其中所述第三材料(42)包括铅、钨、铀、金、含铅聚合物、含钨聚合物和含金聚合物中的至少一种。
4.如权利要求1所述的方法，其中所述多个X-射线吸收元件(12)的宽度小于20μm。
5.如权利要求1所述的方法，其中所述多个X-射线吸收元件(12)的宽度在从5μm到10μm的范围内。
6.如权利要求2所述的方法，其中所述保形涂层(34)包括氧化物、氮化物、塑料、聚合物、丙烯酸树脂、环氧、聚氨酯、硅胶及它们的组合。
7.如权利要求2所述的方法，其中所述保形涂层(34)包括Parylene。
8.如权利要求1所述的方法，其中所述多个X-射线吸收元件(12)按照角度定向配置。
9.如权利要求1所述的方法，其中施加(32)层的步骤包括在所述多个通道(18)的两边侧壁(20)上施加层。
10.如权利要求1所述的方法，还包括将所述滤线栅器件(10)的顶面(49)整平。
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