[发明专利]使用脒基金属的原子层沉积

权利要求书

1.一种挥发性化合物，由如下通式的二聚体表示：

或单体单元的低聚物，其中M选自金属铜和银，并且其中R¹、R¹′、R²和R²′独立地表示烷基、烯基、炔基、三烷基甲硅烷基或氟代烷基，和R³和R³′独立地表示氢、烷基、烯基、炔基、三烷基甲硅烷基或或氟代烷基。

2.权利要求1的化合物，其中M为铜。

3.权利要求1的化合物，其中M为银。

4.一种挥发性化合物，由如下通式表示：

或其低聚物，其中M′选自钴、镍和钌；并且其中R¹、R¹′、R²和R²′独立地表示烷基、烯基、炔基、三烷基甲硅烷基或氟代烷基，和R³和R³′独立地表示氢、烷基、烯基、炔基、三烷基甲硅烷基或或氟代烷基。

5.权利要求4的化合物，其中M′为钴。

6.权利要求4的化合物，其中M′为镍。

7.权利要求4的化合物，其中M′为钌。

8.一种挥发性化合物，由如下通式表示：

或其低聚物，其中M″选自镧、钇、钪、钴、铁、铬和镥，并且其中R¹、R¹′、R¹″、R²、R²′和R²″独立地表示烷基、烯基、炔基、三烷基甲硅烷基或氟代烷基，和R³、R³′和R³″独立地表示氢、烷基、烯基、炔基、三烷基甲硅烷基或氟代烷基。

9.权利要求8的挥发性化合物，其中M″为镧。

10.权利要求8的挥发性化合物，其中M″为钇。

11.权利要求8的挥发性化合物，其中M″为钪。

12.权利要求8的挥发性化合物，其中M″为钴。

13.权利要求8的挥发性化合物，其中M″为铁。

14.权利要求8的挥发性化合物，其中M″为铬。

15.权利要求8的挥发性化合物，其中M″为镥。

16.权利要求1-15中任一项的挥发性化合物，其中R¹、R¹′、R¹″、R²、R²′和R²″独立地表示烷基、三烷基甲硅烷基或氟代烷基，和R³、R³′和R³″独立地表示氢、烷基、三烷基甲硅烷基或氟代烷基。

17.权利要求1-15中任一项的挥发性化合物，其中R¹、R¹′、R¹″、R²、R²′和R²″独立地表示烷基或氟代烷基，和R³、R³′和R³″独立地表示氢、烷基或氟代烷基。

18.权利要求1-15中任一项的挥发性化合物，其中R¹、R¹′、R¹″、R²、R²′和R²″独立地表示烷基或氟代烷基，和R³、R³″和R³″独立地表示烷基或氟代烷基。