[发明专利]长玻璃柱体阳极键合的加热加压装置

权利要求书

1.一种长玻璃柱体阳极键合的加热加电装置，其包括自适应压头(1)、加热台(4)、集成于加热台(4)内的加热管(9)、设于加热台(4)上的加热块(2)、安装于加热块(2)上的陶瓷块(3)、底座(6)以及安装于底座(6)上的气缸(5)，所述自适应压头(1)包括连杆(11)、与连杆(11)连接的绝缘块(12)、与绝缘块(12)连接的压头座(14)、安装在压头座(14)内的压头(13)、安装在压头座(14)上的玻璃柱加电簧片(15)、与玻璃柱加电簧片(15)接触的玻璃柱(16)、安装在绝缘块(12)上的硅片加电簧片(18)以及与硅片加电簧片(18)接触的硅片(17)，所述自适应压头(1)通过连杆(11)与气缸(5)连接，其特征在于：所述玻璃柱加电簧片(15)包括两个，该两个玻璃柱加电簧片(15)分别夹紧于玻璃柱(16)的两侧。

2.根据权利要求1所述长玻璃柱体阳极键合的加热加压装置，其特征在于：所述玻璃柱加电簧片(15)包括抵压在压头座上的弹性抵压部(151)以及自弹性抵压部末端朝玻璃柱(16)弯折延伸的夹持部(152)，所述夹持部的末端设有圆弧型的接触部，所述接触部与玻璃柱(16)的外表面接触。

3.根据权利要求1所述长玻璃柱体阳极键合的加热加压装置，其特征在于：所述陶瓷块(3)是两个且可移动，所述两个陶瓷块(3)分别与两个玻璃柱加电簧片(15)抵压。

4.根据权利要求3所述长玻璃柱体阳极键合的加热加压装置，其特征在于：所述陶瓷块(3)上设有斜面(31)，所述玻璃柱加电簧片(15)与斜面(31)相互抵压。

5.根据权利要求1所述长玻璃柱体阳极键合的加热加压装置，其特征在于：所述硅片加电簧片(18)与硅片(17)的一边接触，所述硅片加电簧片(18)可弹性变形以适应不同厚度的硅片(17)。

6.根据权利要求1所述长玻璃柱体阳极键合的加热加压装置，其特征在于：所述自适应加电压头1上安装有两种分别接高电压和零点的接头，该两种接头分别接高压压片和零点压片。

7.根据权利要求1所述长玻璃柱体阳极键合的加热加压装置，其特征在于：所述连接杆(11)上设有一开口比较大的实现压头(13)变路径运动的“V”型槽(111)，初始时压头(13)的位置相对硅片(17)倾斜。

8.根据权利要求1所述长玻璃柱体阳极键合的加热加压装置，其特征在于：所述加热块(2)中有内孔，所述内孔内集成了真空管路，所述真空管路吸附硅片(17)。

9.根据权利要求1所述长玻璃柱体阳极键合的加热加压装置，其特征在于：还包括实现加热台的温度控制的炉温传感器(8)，所述炉温传感器(8)对温度进行反馈。