[发明专利]基于石英音叉的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法有效
| 申请号： | 201110311619.0 | 申请日： | 2011-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN102506701A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 黄强先;王毛翠;张昔峰;黄帅;赵剑;王广红 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B7/34 | 分类号： | G01B7/34 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 石英 音叉 三维 谐振 触发 定位 方法 | ||
【权利要求书】：
1.基于石英音叉的三维谐振触发测头，其特征是：采用石英音叉(1)作为实现三维谐振触发定位的微力传感器，在所述石英音叉(1)的一个音叉臂上固定有压电驱动器(2)，在另一个音叉臂上固定有压电传感器(3)；设置所述石英音叉(1)在Z方向上的振动方向与试样表面垂直，在X、Y方向上的振动方向与试样表面平行，在靠近试样(6)所在一侧的音叉臂上，固定设置一体式微测杆测球(7)，以锁相环路输出的正弦交流信号(4)施加于所述压电驱动器(2)作为励振信号，通过压电传感器(3)检测音叉谐振信号(5)。
2.一种权利要求1所述基于石英音叉的三维谐振触发测头的三维谐振触发定位方法，其特征是呈水平放置试样(6)，以锁相环路输出的正弦交流信号(4)施加于压电驱动器(2)作为励振信号，通过压电传感器(3)检测音叉谐振信号(5)并输出；所述三维谐振触发测头在Z方向工作于轻敲模式，石英音叉的振动方向与试样垂直；在X、Y方向上工作于摩擦模式，石英音叉的振动方向与试样平行；所述三维谐振触发测头保持不动，以试样(6)在水平面内的平移完成三维谐振触发测头在试样的表面的三维触发定位，或试样(6)保持不动，以三维谐振触发测头在水平面内的平移完成三维谐振触发测头在试样的表面的三维触发定位。
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