[发明专利]一种基于测量位自转调向的双工件台回转交换方法与装置

权利要求书

1.一种基于测量位自转调向的双工件台回转交换方法，其特征在于该方法步骤是：

系统初始状态为处于曝光工位的第一工件台曝光完毕，测量位的第二工件台对准完毕，并规定此时工件台相位为正，接下来进行双工件台换位；

第一步，将第二工件台驱动到第二工件台旋转轴与轴接装置对接的预定位置，对接成功后，利用第二工件台自旋机构使第二工件台逆时针或顺时针旋转180°，此时第二工件台为负相位，然后再与X向第二长行程直线运动单元对接；

第二步，第一工件台、第二工件台沿Y轴同步相向驱动至与回转换台装置对接的预定位置，并同步可靠对接，然后回转换台装置携第一工件台、第二工件台绕回转轴O-O′顺时针或逆时针回转180°，此时第二工件台恢复到正相位，第一工件台变为负相位；

第三步，第一工件台、第二工件台与回转换台装置分离，驱动第二工件台至曝光工位进行曝光处理，驱动第一工件台至第一工件台旋转轴与轴接装置对接的预定位置，对接成功后，利用第一工件台自旋机构使第一工件台逆时针或顺时针旋转180°，使之变为正相位并进行卸片、上片，之后系统回到初始状态，完成一个工作周期。接下来为下一轮曝光工序，即重复上面的工序和换台流程，但旋转方向与上次相反。

2.一种如权利要求1所述方法的双工件台回转交换装置，在基台(1)Y方向两端部位处设置曝光工位(2)和测量位(3)，沿基台(1)两侧长边上对应分别设置Y向长行程直线运动单元(5)，在曝光工位(2)和测量位(3)上分别设置X向第一长行程直线运动单元(6)和X向第二长行程直线运动单元(7)，第一工件台(4a)和第二工件台(4b)可分离地分别配装在X向第一长行程直线运动单元(6)和X向第二长行程直线运动单元(7)上，X向第一长行程直线运动单元(6)和X向第二长行程直线运动单元(7)分别与Y向长行程直线运动单元(5)成H型配置，且可以由Y向长行程直线运动单元(5)驱动，第一工件台(4a)和第二工件台(4b)分别运行于曝光工位(2)和测量位(3)；其特征在于：在曝光工位(2)和测量位(3)之间设置一个回转换台装置(8)，回转换台装置(8)的机械结构包括设置于基台(1)下方的旋转电机定子(8a)、贯穿基台(1)的旋转电机动子(8b)、嵌入基台内的轴套(8c)以及工件台转接装置(8d)；在第一工件台(4a)内部设置第一工件台自旋机构(9)，其结构包括第一工件台旋转轴(9a)以及第一工件台自旋电机(9b)；在第二工件台(4b)内部设置第二工件台自旋机构(10)，其结构包括第二工件台旋转轴(10a)以及第二工件台自旋电机(10b)；在基台(1)的测量位(3)处设置可升降的轴接装置(11)；第一工件台(4a)侧面设置第一工件台转接装置(12a)，第二工件台(4b)侧面设置第二工件台转接装置(12b)；第一工件台(4a)和第二工件台(4b)底面为气浮面，且通过气浮面将第一工件台(4a)和第二工件台(4b)气浮在基台(1)之上；所述的第一工件台旋转轴(9a)与第一工件台(4a)的横向接触面为径向气浮面；第二工件台旋转轴(10a)与第二工件台(4b)的横向接触面为径向气浮面；轴接装置(11)分别与第一工件台旋转轴(9a)或第二工件台旋转轴(10a)联结，并将其固定在基台(1)之上，固定后第一工件台自旋机构(9)可以使第一工件台(4a)绕第一工件台旋转轴(9a)自旋，第二工件台自旋机构(10)可以使第二工件台(4b)绕第二工件台旋转轴(10a)自旋；在回转换台装置(8)的工件台转接装置(8d)上设有与第一工件台转接装置(12a)、第二工件台转接装置(12b)对接的接口，对接后回转换台装置(8)可以带动第一工件台(4a)和第二工件台(4b)在基台上做顺时针和逆时针旋转。