[发明专利]氧化铟锡的回收方法

权利要求书

1.氧化铟锡的回收方法，包括：

提供氧化铟锡；

将该氧化铟锡粉碎并加入有机酸水溶液以形成混合溶液，其中该有机酸水溶液部分溶解该氧化铟锡以产生铟离子与锡离子；

对该混合溶液进行球磨；

加入金属离子螯合剂于该混合溶液中；

之后，干燥该混合溶液，得到包括金属络合物前体的混合物；

对该混合物进行脱脂；及

对该脱脂后的混合物进行锻烧，得到回收的氧化铟锡。

2.如权利要求1所述的氧化铟锡的回收方法，其中该氧化铟锡包括溅镀工艺中使用过的氧化铟锡靶材或溅镀工艺中所产生含氧化铟锡的副产物。

3.如权利要求1所述的氧化铟锡的回收方法，其中该有机酸水溶液中有机酸的含碳数≤10。

4.如权利要求1所述的氧化铟锡的回收方法，其中该有机酸水溶液包括草酸、羧酸、磺酸、亚磺酸、硫代羧酸、或上述任意组合。

5.如权利要求1所述的氧化铟锡的回收方法，其中该有机酸水溶液的pH值约为0～3。

6.如权利要求1所述的氧化铟锡的回收方法，其中该金属离子螯合剂包括乙二胺四乙酸、柠檬酸、酒石酸、顺丁烯二酸、或上述任意组合。

7.如权利要求1所述的氧化铟锡的回收方法，其中该金属离子螯合剂的添加摩尔数约为该混合溶液中铟离子与锡离子的总摩尔数乘以1.0～1.25。

8.如权利要求1所述的氧化铟锡的回收方法，其中该粉碎后的氧化铟锡的粒径小于约500纳米。

9.如权利要求1所述的氧化铟锡的回收方法，其中该有机酸水溶液的浓度约为5-40wt％。

10.如权利要求1所述的氧化铟锡的回收方法，其中该脱脂在约200-600℃的温度下进行。

11.如权利要求1所述的氧化铟锡的回收方法，其中该锻烧在约800-1200℃的温度下进行。

12.如权利要求1所述的氧化铟锡的回收方法，其中进一步包括对该回收的氧化铟锡进行球磨。

13.如权利要求12所述的氧化铟锡的回收方法，其中进一步包括对球磨后之该回收的氧化铟锡进行烧结。

14.如权利要求13所述的氧化铟锡的回收方法，其中所述烧结在约1500-1600℃的温度下进行。

15.如权利要求1所述的氧化铟锡的回收方法，其中所述球磨步骤在该加入该金属离子螯合剂步骤之前。

16.如权利要求1所述的氧化铟锡的回收方法，其中该球磨步骤在该加入该金属离子螯合剂步骤之后。