[发明专利]激光自混合型加速度传感器无效
| 申请号： | 201110410557.9 | 申请日： | 2011-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN102411065A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 吕亮;俞本立;朱军;曹志刚;翟龙华;杨竟宇;赵云鹤;杜正婷 | 申请（专利权）人： | 安徽大学 |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230039*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 混合 加速度 传感器 | ||
1.一种激光自混合型加速度传感器，其特征是具有：
一圆柱壳(1)，在其内部形成一封闭腔，所述圆柱壳(1)与被测物体固定连接；
一弹性膜片(3)，位于圆柱壳封闭腔的横断面上，所述弹性膜片(3)是以周边支撑在所述圆柱壳(1)的内侧壁上；在所述弹性膜片(3)的中央，固定设置一敏感质量块(4)；
一半导体激光器(2)，是以刚性支架固定设置在圆柱壳封闭腔内，与所述敏感质量块(4)处在同轴位置上；以光电探测器(7)、驱动和调制单元(8)和信号处理单元(9)与所述半导体激光器(2)共同构成信号传感单元；其中，所述半导体激光器(2)用于向敏感质量块(4)发出光信号，并接收来自敏感质量块的反馈光信号；所述光电探测器(7)作为光电信号转换单元；所述驱动和调制单元(8)通过改变半导体激光器(2)的注入电流或其它相关参数调制半导体激光器(2)的光源强度、波长、激光相位或激光偏振态；所述信号处理单元(9)接收光电探测器(7)的输出信号，并输出加速度检测信号。
2.根据权利要求1所述的激光自混合型加速度传感器，其特征是在所述敏感质量块(4)的表面具有金属反光镀层。
3.根据权利要求1所述的激光自混合型加速度传感器，其特征是在所述半导体激光器(2)的前端设置透镜或透镜组(10)，以所述透镜或透镜组(10)调节半导体激光器(2)出射光强和所获得的反馈光光强。
4.根据权利要求1所述的激光自混合型加速度传感器，其特征是所述半导体激光器(2)为F-P激光器、DFB激光器或VCSEL激光器。
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