[发明专利]用于包含Mo和Ti的合金层或氧化铟层的刻蚀溶液组合物无效
| 申请号： | 201110428014.X | 申请日： | 2011-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN102585833A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 李友兰;李石;李铉奎;郑敬燮 | 申请（专利权）人： | 东友FINE-CHEM股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/08 | 分类号： | C09K13/08 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 武晨燕;周义刚 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 包含 mo ti 合金 氧化 刻蚀 溶液 组合 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于包含Mo和Ti的合金层或氧化铟层的刻蚀溶液组合物，其特征在于，包括：
基于该组合物的总重量，
5～30wt％的H2O2；
0.01～5wt％的含氟化合物；
0.1～5wt％的可溶于水的环胺化合物；
0.01～10wt％的无机酸；和
余量的水。
2.根据权利要求1所述的刻蚀溶液组合物，其特征在于，所述含氟化合物从HF、NaF、NH4F、NH4BF4、NH4FHF、KF、KHF2、AlF3和HBF4组成的组中选择。
3.根据权利要求1所述的刻蚀溶液组合物，其特征在于，所述可溶于水的环胺化合物从苯并三唑基化合物、氨基四唑基化合物、咪唑基化合物、吲哚基化合物、嘌呤基化合物、吡唑基化合物、吡啶基化合物、嘧啶基化合物、吡咯基化合物、吡咯烷基化合物和吡咯啉基化合物组成的组中选择。
4.根据权利要求1所述的刻蚀溶液组合物，其特征在于，所述无机酸从盐酸、硫酸、硝酸和磷酸组成的组中选择。
5.一种平板显示器，其特征在于，包括用根据权利要求1所述的刻蚀溶液组合物刻蚀的电极。
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