[发明专利]单晶炉炉门数控加工变形控制方法有效

专利信息
申请号: 201110429590.6 申请日: 2011-12-20
公开(公告)号: CN102416497A 公开(公告)日: 2012-04-18
发明(设计)人: 王兆峻 申请(专利权)人: 北京京仪世纪电子股份有限公司
主分类号: B23C3/00 分类号: B23C3/00;B23Q3/06
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 李景辉
地址: 100079 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 单晶炉 炉门 数控 加工 变形 控制 方法
【权利要求书】:

1.一种单晶炉炉门数控加工变形控制方法,用于加工单晶炉炉门,所述单晶炉炉门包括门框和门板,所述门框为实心钢板,所述门框的表面开设有密封槽,其特征在于,所述单晶炉炉门数控加工变形控制方法包括:

A、将单晶炉炉门用夹具水平地固定到机床工作台上,粗加工所述门框的待加工面和密封槽,粗加工后,所述待加工面的厚度去除量为所述待加工面总加工量的60-80%,所述密封槽的长度等于所需长度,所述密封槽的宽度和厚度分别为所需尺寸的50-70%;

B、然后松开夹具让所述炉门充分自由变形;

C、此后再次将单晶炉炉门用夹具水平地固定到机床工作台上,在所述门框底部中间位置施加一向上支撑力,使所述门框中间位置处的向上变形量达到许用变形量的1/4至1/2;

D、然后铣削待加工面和所述密封槽,进行精加工至各自所需尺寸。

2.如权利要求1所述的单晶炉炉门数控加工变形控制方法,其特征在于,步骤B中,松开夹具让所述炉门充分自由变形的时间为2分钟至30分钟。

3.如权利要求1所述的单晶炉炉门数控加工变形控制方法,其特征在于,步骤C中,通过螺旋千斤顶支撑在所述门框底部中间位置,使得所述门框中间位置处的向上变形量达到许用变形量的1/4至1/2。

4.如权利要求1所述的单晶炉炉门数控加工变形控制方法,其特征在于,步骤C中,通过在所述门框上面设置千分表显示和/或控制所述门框中间位置处的向上变形量。

5.如权利要求1所述的单晶炉炉门数控加工变形控制方法,其特征在于,如果经过步骤A、B、C、D、一遍后,所述门框平面度仍然超差,则重复步骤B、C、D、一次。

6.如权利要求1所述的单晶炉炉门数控加工变形控制方法,其特征在于,步骤C还包括:

C1:通过螺旋千斤顶支撑使所述门框底部中间位置,使得所述门框中间位置处的向上变形量达到许用变形量的2/5至4/5;

C2:然后在所述门框顶部中间位置施加压下力,使得所述门框中间位置处的向上变形量回退到许用变形量的1/4至1/2。

7.如权利要求6所述的单晶炉炉门数控加工变形控制方法,其特征在于,步骤C2中,通过在所述门框中间位置使用夹具在所述门框顶部中间位置施加压下力。

8.如权利要求1所述的单晶炉炉门数控加工变形控制方法,其特征在于,步骤C中,通过使用夹具固定所述门框的三个点将单晶炉炉门水平地固定到机床工作台上。

9.如权利要求1所述的单晶炉炉门数控加工变形控制方法,其特征在于,步骤A中,所述待加工面总加工量为2至5mm,所述密封槽的宽度为6至8mm,深度为4至6mm。

10.如权利要求1所述的单晶炉炉门数控加工变形控制方法,其特征在于,所述单晶炉炉门的门框,长1522mm至1722mm,外框宽270mm至370mm,内框宽182mm至242mm,门框单边宽度40至60mm,待加工前,门框厚度24至26mm,粗加工后,所述待加工面的厚度去除量为所述待加工面总加工量的70%,所述密封槽的宽度和厚度分别为所需尺寸的60%,所述门框中间位置处的向上变形量为0.05mm,精加工后,门框的厚度为21mm,待加工面加工后要求平面度≤0.15mm。

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