[实用新型]屏蔽板自动清洗机无效

专利信息
申请号: 201120002183.2 申请日: 2011-01-06
公开(公告)号: CN201978905U 公开(公告)日: 2011-09-21
发明(设计)人: 李业博;刘希杰;张化明;井庆刚;刘枝斌 申请(专利权)人: 山东力诺新材料有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B24B27/033;C23C14/35
代理公司: 济南泉城专利商标事务所 37218 代理人: 李桂存
地址: 251600 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 屏蔽 自动 清洗
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种自动清洗设备,属于太阳能集热管生产的辅助设备。

背景技术

在太阳能集热管的生产过程中,通常利用镀膜机来镀制膜层。由于镀膜机是采用磁控溅射工艺来镀制集热管膜层的。屏蔽板安装在镀室内部,是为了阻止溅射过程中产生的射线的泄漏,危害操作人员的安全。溅射就是让具有足够高能量的粒子轰击固体靶表面,使靶中的原子发射出来沉积到基片上成膜。在沉积过程中,一部分原子不可避免的要沉积到屏蔽板上。当屏蔽板上的膜层达到一定厚度后,一方面,较厚的膜层会吸附大量的气体,导致镀膜室在抽真空时,抽速变慢,另一方面,较厚的膜层会改变镀室内的气氛导致镀膜过程中打火严重,影响生产进度和产品质量,因此,需要对屏蔽板需要做清除膜层处理。

传统的清膜方式是,先用清洗溶液对屏蔽板浸泡处理,再用人工用角磨机打磨处理,整个过程费时费力,且对操作人员产生危害。

发明内容

因此,本实用新型的目的在于提供一种机械式屏蔽板自动清洗机,不仅能够很好的解决膜层清理不彻底的问题,而且整个过程对人员的依赖程度大大降低,降低了操作人员的劳动强度,提高了生产效率。

本实用新型采用的技术方案为:

本实用新型屏蔽板自动清洗机,其包括:

清洗头,具有打磨头和用于喷洒清洗溶液的喷头;

平移装置,作为所述清洗头的载体,以驱动所述清洗头平移;

工作台,用于定位屏蔽板;

驱动装置,以驱动所述平移装置动作;以及

清洗溶液循环装置,连接所述喷头,作为清洗溶液源,并回收清洗溶液。

依据本实用新型技术方案的屏蔽板自动清洗机通过对屏蔽板进行定位,然后通过自动控制的清洗头进行清洗,完成屏蔽板的自动清洗,操作人员参与的部分比较少。从机械上易于实现清洗头的匀速移动,保证了清洗的质量。由于清洗过程在完全匀速的情况下完成,可以大大地提高生产效率。

上述屏蔽板自动清洗机,所述平移装置为通过支架安装在机架上的滑轨。

上述屏蔽板自动清洗机,所述驱动装置包括组配在一起的横向运动机构、纵向运动机构及驱动打磨头的链传动机构,以及驱动该横向运动机构和纵向运动机构运动的电机和控制电机运行的控制器。

上述屏蔽板自动清洗机,所述驱动装置还包括设置在机架上并联接于所述控制器的以检测屏蔽板位置的传感器。

上述屏蔽板自动清洗机,还包括输料装置,用于屏蔽板工位的流转。

上述屏蔽板自动清洗机,屏蔽板工位包括依次设置在工作台上的屏蔽板装夹工位、清洗工位和拆卸工位。

上述屏蔽板自动清洗机,所述输料装置包括齿轮齿条机构及其拖动电机,其中齿条上设有屏蔽板夹具。

上述屏蔽板自动清洗机,所述工作台设有用于富集清洗溶液的沟槽,所有沟槽汇于一连接于清洗溶液循环装置回水口的总沟槽。

上述屏蔽板自动清洗机,所述清洗溶液循环装置包括出水口的水泵、进水口的匹配清洗头的过滤装置和沉淀池。

上述屏蔽板自动清洗机,所述打磨头为阵列的一组钢丝轮,所述喷头有两个,分居于钢丝轮阵列的两侧。

附图说明

下面结合说明书附图进一步的阐述本实用新型的技术方案,其中:

图1为依据本实用新型技术方案的一种屏蔽板自动清洗机的结构示意图。

图中:1、拖动电机 ;2、装夹台;3、滑轨;4、喷头;5、钢丝轮;6、软管;7、过滤网;8、齿条;9、水泵;10、澄清箱。

具体实施方式

参照说明附图1,其示出了一种屏蔽板自动清洗机,本实用新型的基本构思是其包括:

清洗头,具有打磨头和用于喷洒清洗溶液的喷头4;

平移装置,作为所述清洗头的载体,以驱动所述清洗头平移;

工作台,用于定位屏蔽板;

驱动装置,以驱动所述平移装置动作;以及

清洗溶液循环装置,连接所述喷头,作为清洗溶液源,并回收清洗溶液。

关于所述平移装置,主要在于清洗头所需要的位置,基本运动是直线运动,机械上直线运动机构和运动副属于非常普遍的机械结构,实现方式简单,基于本方案,实现非常容易。优选地,所述平移装置为通过支架安装在机架上的滑轨3,轨道副运行平稳,保证清洗头的清洗质量。

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