[实用新型]扩散炉自动侧向进出舟装置有效
| 申请号： | 201120503784.1 | 申请日： | 2011-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN202380132U | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 肖四哲;邓金生 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扩散 自动 侧向 进出 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种扩散炉自动侧向进出舟装置，其特征在于包括：支撑架（1）、固定在支持架上的直线导轨（2）、套在直线导轨上的滑块（4）、固定在滑块上方的托架固定座（6）、固定在支撑架上且处于直线导轨一端的步进电机（3）、连接托架固定座与步进电机的用以驱动托架固定座和滑块沿直线导轨往复移动的传动带（5）、固定在托架固定座上方的石英舟托架（7）、固定在托架固定座和支撑架上的感知托架固定座移动极限位置的限位传感器、接收限位传感器位置信号并控制步进电机启停的控制器。
2.如权利要求1所述的扩散炉自动侧向进出舟装置，其特征在于：所述的传感器包含固定在托架固定座（6）上的遮光片（8）、分别固定在支撑架两端的第一光电传感器（9）和第二光电传感器，第一、二光电传感器在遮光片临近时遮光触发向所述控制器发送位置信号。
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