[实用新型]扩散炉自动侧向进出舟装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池片生产装置，尤其涉及向扩散炉传送太阳能电池片的侧向进出舟装置。

背景技术

由于世界各国对可再生清洁能源利用的逐步重视，太阳能光伏产业得到了飞速发展。根据欧洲JRC的预测，到2030年可再生能源在总能源结构中占到3 0％以上，太阳能光伏发电在世界总电力的供应中达到10%以上；2040年可再生能源占总能耗50％以上，太阳能光伏发电将占总电力的20%以上；到21世纪末可再生能源在能源结构中占到80％以上，太阳能发电占到60％以上。

扩散形成P-N结是太阳能电池片的关键工艺。扩散炉是太阳能电池片生产的重大设备之一。在扩散工艺中引入对人体有毒害的气体及产生有毒害尾气，会对人体造成极大的危害。在保证工艺的条件下，建立太阳能电池片自动化生产线，提高设备的自动化程度，减少人工对设备的干预，是设备生产厂家的主要目标。

目前国内太阳能电池片厂家使用的扩散炉主要是进口设备，均配有自动侧向进出舟装置，只是结构和控制方式有所不同。国产设备目前没有相关配置,而进口设备存在整机和配件价格高昂，维修不便等问题。打破国外设备的技术壁垒，研制生产成本低廉，运行可靠，维护方便的侧向进出舟装置是业内亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型是要解决现有技术的上述问题，提出一种自动化程度高，安全可靠，成本低廉便于维护的扩散炉自动侧向进出舟装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提出的技术方案是设计一种扩散炉自动侧向进出舟装置，其包括：支撑架、固定在支持架上的直线导轨、套在直线导轨上的滑块、固定在滑块上方的托架固定座、固定在支撑架上且处于直线导轨一端的步进电机、连接托架固定座与步进电机的用以驱动托架固定座和滑块沿直线导轨往复移动的传动带、固定在托架固定座上方的石英舟托架、固定在托架固定座和支撑架上的感知托架固定座移动极限位置的限位传感器、接收限位传感器位置信号并控制步进电机启停的控制器。

所述的传感器包含固定在托架固定座上的遮光片、分别固定在支撑架两端的第一光电传感器和第二光电传感器，第一、二光电传感器在遮光片临近时遮光触发向所述控制器发送位置信号。

本实用新型传送准确误差小，自动化程度高，工作过程只需要人员监视控制，无需直接接触硅片，保护了人员健康安全；设置多种故障报警模式，监控设备自动运行状态，保护设备的安全。本实用新型填补技术空缺引领行业动向，具有广阔的市场前景。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型作出详细的说明，其中：

图1为本实用新型较佳实施例的使用示意图；

图2为本实用新型较佳实施例的侧视图；

图3为本实用新型较佳实施例的俯视图。

具体实施方式

本实用新型揭示了一种扩散炉自动侧向进出舟装置，需要同自动插片取片机配套使用，是自动为扩散炉上下料送取舟的自动化衔接装置。图1示出了扩散炉与侧向进出舟装置的位置关系，整个工艺流程为：插片取片机自动为石英舟插片，插片后的石英舟自动放置在侧向进出舟装置上，侧向进出舟装置将石英舟传送到扩散炉（图标10所指）的机械手抓取位；扩散炉10对石英舟中的电池片进行扩散处理，处理完毕后扩散炉10的机械手把石英舟放置在抓取位上；侧向进出舟装置将石英舟移出，自动插片取片机取片。至此，侧向进出舟装置完成一个周期的工作。

参看图2，本实用新型包括：支撑架1、固定在支持架上的直线导轨2、套在直线导轨上的滑块4、固定在滑块上方的托架固定座6、固定在支撑架上且处于直线导轨一端的步进电机3、连接托架固定座与步进电机的传动带5、固定在托架固定座上方的石英舟托架7、固定在托架固定座和支撑架上的感知托架固定座移动极限位置的限位传感器、对本装置实施控制的控制器。当自动插片取片机在石英舟插片完毕后的进炉过程是：控制器驱动步进电机正转，步进电机带动传动带5向左移动，传动带5带动托架固定座和滑块沿直线导轨向左移动，当到达预设位置（机械手抓取位）时，限位传感器向控制器发出表示到达进炉位置的位置信号，控制器驱动步进电机停转，上料动作完成。扩散炉10对石英舟中的电池片处理完毕后的出炉过程是：控制器驱动步进电机反转，步进电机带动传动带5向右移动，传动带5带动托架固定座和滑块沿直线导轨向右移动，当到达预设位置（自动插片取片机工作位）时，限位传感器向控制器发出表示到达出炉位置的位置信号，控制器驱动步进电机停转，下料动作完成。